[發明專利]一種基于有機薄膜與無機薄膜交替的器件封裝方法

有效

• 申請號: 201710465846.6
• 申請日: 2017-06-19
• 公開（公告）號: CN109148736B
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 向超宇;錢磊;曹蔚然;楊一行
• 申請（專利權）人: TCL科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/50;H01L51/52
• 代理公司: 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙) 44268
• 代理人: 王永文;劉文求

本發明公開一種基于有機薄膜與無機薄膜交替的器件封裝方法，通過將有機小分子摻雜到器件金屬電極表面，采用H等離子對所述金屬電極進行處理，使所述金屬電極表面的金屬粒子與有機小分子發生交聯，在所述電極表面生成一有機薄膜；然后控制有機前驅物的反應用量，在所述器件的有機薄膜表面生成一無機薄膜，再采用H等離子對所述器件進行處理，使所述有機前驅物之間或所述有機前驅物與所述無機薄膜之間相互交聯，形成交聯的無機薄膜；通過本發明方法可以極大地提高封裝薄膜的致密性，減小封裝薄膜內部的空隙和水氧通過途徑，提升封裝薄膜的水氧阻隔效果，從而達到保護器件的目的。

技術領域

本發明涉及器件封裝技術領域，尤其涉及一種基于有機薄膜與無機薄膜交替的器件封裝方法。

背景技術

半導體量子點（Quantum dot, QDs）具有熒光量子效率高、可見光波段發光可調、色域覆蓋度寬廣等特點。以量子點為發光材料的發光二極管被稱為量子點發光二極管（Quantum dot light-emitting diode, QLED）器件，其具有色彩飽和、能效更高、色溫更佳、壽命長等優點，有望成為下一代固態照明和平板顯示的主流技術。

QLED器件在制備完各種功能層和量子點發光層后，還需對其進行薄膜封裝處理；由于封裝薄膜在微觀上不是致密的，因此需要采用多層不同材料的薄膜堆疊來提高封裝薄膜的水氧阻隔效果；然而，簡單的通過多層薄膜堆疊并不能完全去除薄膜不致密導致的空洞，其水氧阻隔效果仍較差，并且多層薄膜之間的應力阻礙了QLED器件的可撓性等。

因此，現有技術還有待于改進和發展。

發明內容

鑒于上述現有技術的不足，本發明的目的在于提供一種基于有機薄膜與無機薄膜交替的器件封裝方法，旨在解決現有器件封裝工藝水氧阻隔效果差的問題。

本發明的技術方案如下：

一種基于有機薄膜與無機薄膜交替的器件封裝方法，其中，包括步驟：

A、預先將有機小分子摻雜到器件金屬電極表面；

B、將所述器件放入HHIC反應器中并通入H₂，所述H₂電離后形成H等離子，通過所述H等離子使金屬電極上的金屬粒子與有機小分子發生交聯，在所述金屬電極表面形成一有機薄膜;

C、控制有機前驅物的反應用量，在所述器件的有機薄膜表面生成一無機薄膜；

D、將所述器件放入HHIC反應器中并通入H₂，所述H₂電離后形成H等離子，通過H等離子使所述有機前驅物之間或所述有機前驅物與所述無機薄膜之間相互交聯，形成交聯的無機薄膜。

所述的基于有機薄膜與無機包膜交替的器件封裝方法，其中，所述步驟D之后還包括：

E、在所述無機薄膜上摻雜有機小分子，并對所述器件進行H等離子處理，使有機小分子與無機薄膜發生交聯，在所述無機薄膜上形成一致密的有機薄膜；

F、重復所述步驟C-E，制得由單層有機薄膜和單層無機薄膜交替形成的n層封裝膜，所述n層封裝膜組成封裝薄膜層，其中3≤n≤10。

所述的基于有機薄膜與無機薄膜交替的器件封裝方法，其中，所述步驟A具體為：

采用蒸鍍或溶液法將有機小分子摻雜到器件金屬電極表面，形成有機摻雜層。

所述的基于有機薄膜與無機薄膜交替的器件封裝方法，其中，所述步驟C具體為：

控制有機前驅物的反應用量，使所述有機前驅物在生成無機薄膜后，剩余的有機前驅物占無機薄膜重量的比例為1：99-99：1。

所述的基于有機薄膜與無機薄膜交替的器件封裝方法，其中，所述有機小分子為8-羥基喹啉鋁、石墨烯、烷烴中的一種或多種。