[發(fā)明專利]一種機(jī)床運(yùn)動(dòng)部件懸浮驅(qū)動(dòng)的激光制導(dǎo)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710465769.4
• 申請(qǐng)日: 2017-06-19
• 公開（公告）號(hào): CN107030529B
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周凱;李雅哲;呂江偉;榮海
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué)
• 主分類號(hào): B23Q17/24
• 分類號(hào): B23Q17/24
• 代理公司: 北京志霖恒遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11435
• 代理人: 周丹

1.一種機(jī)床運(yùn)動(dòng)部件懸浮驅(qū)動(dòng)的激光制導(dǎo)系統(tǒng)，包括一號(hào)激光器(1)、二號(hào)激光器(2)和運(yùn)動(dòng)部件(20)，其特征在于：所述一號(hào)激光器(1)和二號(hào)激光器(2)上分別設(shè)有一號(hào)激光器微調(diào)裝置(3)和二號(hào)激光器微調(diào)裝置(4)，所述一號(hào)激光器(1)激光發(fā)射方向安置有一號(hào)光學(xué)接收器(17)，二號(hào)激光器(2)激光發(fā)射方向安置有二號(hào)光學(xué)接收器(18)，且一號(hào)激光器(1)與二號(hào)激光器(2)所發(fā)射激光平行等高并設(shè)有間距，所述一號(hào)光學(xué)接收器(17)和二號(hào)光學(xué)接收器(18)輸出端均與光學(xué)導(dǎo)軌控制單元(19)輸入端電連接，所述光學(xué)導(dǎo)軌控制單元(19)輸出端分別與一號(hào)激光器微調(diào)裝置(3)和二號(hào)激光器微調(diào)裝置(4)電連接，所述運(yùn)動(dòng)部件(20)上設(shè)有一級(jí)一號(hào)分光鏡(5)、二級(jí)一號(hào)分光鏡(7)、一級(jí)二號(hào)分光鏡(6)和二級(jí)二號(hào)分光鏡(8)，所述一級(jí)一號(hào)分光鏡(5)、二級(jí)一號(hào)分光鏡(7)、一級(jí)二號(hào)分光鏡(6)和二級(jí)二號(hào)分光鏡(8)呈兩行兩列矩陣排列，一級(jí)一號(hào)分光鏡(5)與二級(jí)一號(hào)分光鏡(7)同行，一級(jí)二號(hào)分光鏡(6)與二級(jí)二號(hào)分光鏡(8)同行，一級(jí)一號(hào)分光鏡(5)與一級(jí)二號(hào)分光鏡(6)同列，二級(jí)一號(hào)分光鏡(7)與二級(jí)二號(hào)分光鏡(8)同列，且兩行間距與一號(hào)激光器(1)和二號(hào)激光器(2)發(fā)出的兩路激光間距相同，所述一級(jí)一號(hào)分光鏡(5)反射出射光線順時(shí)針45度角方向設(shè)有一號(hào)反光鏡(9)，且一號(hào)反光鏡(9)反射光線方向設(shè)有一號(hào)光學(xué)傳感器(13)，所述一級(jí)二號(hào)分光鏡(6)反射出射光線逆時(shí)針45度角方向設(shè)有二號(hào)反光鏡(10)，且二號(hào)反光鏡(10)反射光線方向設(shè)有二號(hào)光學(xué)傳感器(14)，所述二級(jí)一號(hào)分光鏡(7)反射出射光線順時(shí)針45度角方向設(shè)有三號(hào)反光鏡(11)，且三號(hào)反光鏡(11)反射光線方向設(shè)有三號(hào)光學(xué)傳感器(15)，所述二級(jí)二號(hào)分光鏡(8)反射出射光線逆時(shí)針45度角方向設(shè)有四號(hào)反光鏡(12)，且四號(hào)反光鏡(12)反射光線方向設(shè)有四號(hào)光學(xué)傳感器(16)，所述一號(hào)光學(xué)傳感器(13)、二號(hào)光學(xué)傳感器(14)、三號(hào)光學(xué)傳感器(15)和四號(hào)光學(xué)傳感器(16)輸出端均與信息制導(dǎo)控制系統(tǒng)(21)電連接，所述信息制導(dǎo)控制系統(tǒng)(21)輸出端與運(yùn)動(dòng)部件(20)的懸浮和進(jìn)給裝置電連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種機(jī)床運(yùn)動(dòng)部件懸浮驅(qū)動(dòng)的激光制導(dǎo)系統(tǒng)，其特征在于：所述光學(xué)導(dǎo)軌控制單元(19)中控制器采用單片機(jī)或FPGA嵌入式計(jì)算機(jī)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種機(jī)床運(yùn)動(dòng)部件懸浮驅(qū)動(dòng)的激光制導(dǎo)系統(tǒng)，其特征在于：所述信息制導(dǎo)控制系統(tǒng)(21)采用PID或滑模變結(jié)構(gòu)閉環(huán)控制算法。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種機(jī)床運(yùn)動(dòng)部件懸浮驅(qū)動(dòng)的激光制導(dǎo)系統(tǒng)，其特征在于：所述信息制導(dǎo)控制系統(tǒng)(21)中控制器采用DSP或FPGA嵌入式計(jì)算機(jī)。