[發明專利]一種環保型金屬去除液

在審

• 申請號: 201710464633.1
• 申請日: 2017-06-19
• 公開（公告）號: CN107354467A
• 公開（公告）日: 2017-11-17
• 發明（設計）人: 戈燁銘
• 申請（專利權）人: 江陰潤瑪電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23G1/04
• 分類號: C23G1/04;C23G1/08
• 代理公司: 江陰市揚子專利代理事務所(普通合伙)32309
• 代理人: 隋玲玲

技術領域

本發明涉及一種環保型金屬去除液，屬于微電子化學試劑技術領域。

背景技術

本發明是一種環保型金屬去除液，所要解決的技術問題是針對微電子行業現有技術提供一種金屬去除液，能夠有效去除不銹鋼基板與金膜之間的鋁、鎳、鉻等金屬層，使得金膜易于被回收，同時對不銹鋼和金膜無影響。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是針對上述現有技術提供一種脫金液，能夠有效去除不銹鋼基板與金膜之間的鋁、鎳、鉻等金屬層，而對于不銹鋼、金膜無影響，使得金材料易于回收。

本發明解決上述問題所采用的技術方案為：一種環保型金屬去除液，包括如下質量百分比的成分

醋酸40～65%，

硝酸10～30%，

表面活性劑1～2%，

緩蝕劑0.1～2%，

光亮劑0.1～1%，

余量為純水。

優選地，醋酸原料的質量百分比濃度為90～99.8%、硝酸原料的質量百分比濃度為60～67%。

優選地，表面活性劑選自非離子型表面活性劑和陰離子型表面活性劑復配混合物。其中，非離子表面活性劑為辛基酚聚氧乙烯醚。陰離子表面活性劑為烷基芳基醚聚合物、聚乙二醇辛基苯基醚中的一種或兩種。

優選地，緩蝕劑選自九水合硝酸鋁、硝酸銀、硫酸鐵，并按照一定的質量比混配。該緩蝕劑可有效保護金膜不致于腐蝕的情況下，有效側蝕鋁、鎳、鉻等金屬，從而逐漸滲透腐蝕形成中空形狀致金膜脫落，易回收。

優選地，光亮劑選自五水合硫酸銅，有效保護不銹鋼基基板。

與現有技術相比，本發明的優點在于：該脫金液具有環境友好、體系危害性小，穩定性高，使用壽命長，腐蝕金屬效果好；在進行有效腐蝕金屬的同時，亦不會對不銹鋼基材層與金膜層造成腐蝕。

具體實施方式

以下結合實施例對本發明作進一步詳細描述。

實施例1

金屬去除液成分的重量百分比分別為：

醋酸65%，

硝酸30%，

表面活性劑2%，

緩蝕劑2%，

光亮劑1%，

余量為純水。

其中醋酸的質量百分比濃度為99.8%、硝酸的質量百分比濃度為65%。表面活性劑包括非離子型表面活性劑和陰離子型表面活性劑復配混合物。非離子表面活性劑為辛基酚聚氧乙烯醚。陰離子表面活性劑為烷基芳基醚聚合物、聚乙二醇辛基苯基醚中的一種或兩種。緩蝕劑包括九水合硝酸鋁、硝酸銀、硫酸鐵，并按照一定的質量比混配。光亮劑包括五水合硫酸銅。

實施例2

金屬去除液成分的重量百分比分別為：

醋酸40%，

硝酸10%，

表面活性劑1%，

緩蝕劑0.1%，

光亮劑0.1%，

余量為純水。

其中醋酸的質量百分比濃度為99.8%、硝酸的質量百分比濃度為65%。表面活性劑包括非離子型表面活性劑和陰離子型表面活性劑復配混合物。非離子表面活性劑為辛基酚聚氧乙烯醚。陰離子表面活性劑為烷基芳基醚聚合物、聚乙二醇辛基苯基醚中的一種或兩種。緩蝕劑包括九水合硝酸鋁、硝酸銀、硫酸鐵，并按照一定的質量比混配。光亮劑包括五水合硫酸銅。

實施例3

金屬去除液成分的重量百分比分別為：

醋酸45%，

硝酸15%，

表面活性劑1%，

緩蝕劑1%，

光亮劑1%，

余量為純水。

其中醋酸的質量百分比濃度為99.8%、硝酸的質量百分比濃度為65%。表面活性劑包括非離子型表面活性劑和陰離子型表面活性劑復配混合物。非離子表面活性劑為辛基酚聚氧乙烯醚。陰離子表面活性劑為烷基芳基醚聚合物、聚乙二醇辛基苯基醚中的一種或兩種。緩蝕劑包括九水合硝酸鋁、硝酸銀、硫酸鐵，并按照一定的質量比混配。光亮劑包括五水合硫酸銅。

除上述實施例外，本發明還包括有其他實施方式，凡采用等同變換或者等效替換方式形成的技術方案，均應落入本發明權利要求的保護范圍之內。