[發明專利]一種高效異質結太陽能電池的電極制作方法

在審

• 申請號: 201710462309.6
• 申請日: 2017-06-19
• 公開（公告）號: CN109166940A
• 公開（公告）日: 2019-01-08
• 發明（設計）人: 張杰;宋廣華
• 申請（專利權）人: 福建金石能源有限公司
• 主分類號: H01L31/072
• 分類號: H01L31/072;H01L31/0224;H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高效異質結太陽能電池的電極制作方法，其特征在于：所述制作方法包括如下步驟：

在沉積完透明導電膜和種子層的硅片表面覆蓋一層保護膜，并烘干固化；

使用激光在保護膜上刻畫出柵線圖形結構的凹槽，漏出種子層；

在漏出的種子層上面進行電鍍處理，形成金屬電極；

去除保護膜以及金屬電極外的種子層，完成金屬電極的制作。

2.根據權利要求1所述一種高效異質結太陽能電池的電極制作方法，其特征在于：所述透明導電薄膜為ITO、IWO、ZnO中的一種，厚度為80-120nm，所述種子層為金屬銅，厚度為100-500nm。

3.根據權利要求1所述一種高效異質結太陽能電池的電極制作方法，其特征在于：所述保護膜為高分子材料，使用浸泡、涂覆或印刷的方式覆蓋在硅片表面，其中烘干固化溫度為60-150℃，固化時間為1-10min。

4.根據權利要求1所述一種高效異質結太陽能電池的電極制作方法，其特征在于：所述激光為短波長激光器，如皮秒、紫外、綠光等，激光刻畫出柵線圖形結構的凹槽的寬度為20-60um。

5.根據權利要求1所述一種高效異質結太陽能電池的電極制作方法，其特征在于：所述電鍍處理形成的金屬電極為Cu/Sn金屬層，電極厚度為10-40um，寬度為20-60um。

6.根據權利要求1所述一種高效異質結太陽能電池的電極制作方法，其特征在于：所述去除保護膜采用的是低濃度的堿溶液，所述去除種子層采用的是堿性的CuCl₂溶液。