[發明專利]一種同軸傳輸的多離子束加速器裝置

在審

• 申請號: 201710462223.3
• 申請日: 2017-06-19
• 公開（公告）號: CN107333381A
• 公開（公告）日: 2017-11-07
• 發明（設計）人: 唐兵;陳立華;崔保群;馬瑞剛;馬鷹俊;黃青華;馬燮;蔣渭生
• 申請（專利權）人: 中國原子能科學研究院
• 主分類號: H05H7/06
• 分類號: H05H7/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種同軸傳輸的多離子束加速器裝置，其特征在于，該裝置包括進氣系統(1)、離子源(5)、束流傳輸元件、真空系統和靶(13)；束流傳輸元件包括束流聚焦元件(8)、束流導向元件(11)和后加速段(12)，真空系統包括真空泵(9)和真空室(10)；進氣系統(1)、離子源(5)、束流傳輸元件和靶(13)分別按離子束(7)傳輸方向順序設置，其中，離子源(5)、束流聚焦元件(8)、束流導向元件(11)和靶(13)都在真空室(10)內。

2.根據權利要求1所述的一種同軸傳輸的多離子束加速器裝置，其特征在于，所述進氣系統由氣瓶(2)、氣管(3)和氣體質量流量計(4)連接組成。

3.根據權利要求1所述的一種同軸傳輸的多離子束加速器裝置，其特征在于，所述離子源(5)為冷陰極潘寧源。

4.根據權利要求1所述的一種同軸傳輸的多離子束加速器裝置，其特征在于，所述束流聚焦元件(8)為靜電聚焦透鏡。

5.根據權利要求1所述的一種同軸傳輸的多離子束加速器裝置，其特征在于，所述束流導向元件(11)為靜電偏轉器。

6.根據權利要求1所述的一種同軸傳輸的多離子束加速器裝置，其特征在于，所述束流傳輸元件全部為靜電元件。

7.根據權利要求4所述的一種同軸傳輸的多離子束加速器裝置，其特征在于，所述靜電聚焦透鏡為靜電薄膜透鏡。

8.根據權利要求4所述的一種同軸傳輸的多離子束加速器裝置，其特征在于，所述靜電聚焦透鏡為靜電四極透鏡。

9.根據權利要求4所述的一種同軸傳輸的多離子束加速器裝置，其特征在于，所述靜電聚焦透鏡為三圓筒靜電單透鏡。