[發(fā)明專利]用于膜輪廓調(diào)節(jié)的噴頭簾式氣體方法和系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710462095.2
• 申請(qǐng)日: 2017-06-19
• 公開（公告）號(hào): CN107523804A
• 公開（公告）日: 2017-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 伊?xí)r塔克·卡里姆;阿德里安·拉瓦伊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 朗姆研究公司
• 主分類號(hào): C23C16/455
• 分類號(hào): C23C16/455
• 代理公司: 上海勝康律師事務(wù)所31263
• 代理人: 樊英如,邱曉敏

1.一種在多站式半導(dǎo)體處理室內(nèi)沉積膜的方法，所述方法包括：

(a)確定用于在所述室內(nèi)進(jìn)行膜沉積的工藝條件，所述工藝條件包括在所述室內(nèi)圍繞每個(gè)站的周邊流動(dòng)的簾式氣體的流動(dòng)條件；

(b)根據(jù)(a)中確定的所述工藝條件，在膜沉積期間，使所述簾式氣體流到所述室內(nèi)的每個(gè)站；

(c)在(b)期間或之后，確定襯底的不均勻性；

(d)基于所述襯底的不均勻性，確定所述室內(nèi)的所述簾式氣體的經(jīng)調(diào)節(jié)的流動(dòng)條件，以改善所述襯底的不均勻性；以及

(e)在(d)之后，根據(jù)(d)中確定的所述經(jīng)調(diào)節(jié)的流動(dòng)條件，在膜沉積期間，使所述簾式氣體流動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述簾式氣體的所述流動(dòng)條件是所述簾式氣體的流率，并且其中所述簾式氣體的所述經(jīng)調(diào)節(jié)的流動(dòng)條件為所述簾式氣體的經(jīng)調(diào)節(jié)的流率。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中在(e)期間，使所述簾式氣體以基本上恒定的流率流動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中在(e)期間，使所述簾式氣體以可變的流率流動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述簾式氣體的所述流動(dòng)條件是所述簾式氣體的分壓，并且其中所述簾式氣體的所述經(jīng)調(diào)節(jié)的流動(dòng)條件是所述簾式氣體的經(jīng)調(diào)節(jié)的分壓。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述工藝條件包括所述室的壓強(qiáng)，并且其中所述室內(nèi)的所述簾式氣體的所述經(jīng)調(diào)節(jié)的流動(dòng)條件由所述室的經(jīng)調(diào)節(jié)的壓強(qiáng)導(dǎo)致。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述工藝條件包括所述室的排空速率，并且其中所述室內(nèi)的所述簾式氣體的所述經(jīng)調(diào)節(jié)的流動(dòng)條件由所述室的經(jīng)調(diào)節(jié)的排空速率導(dǎo)致。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中：

所述簾式氣體的流動(dòng)條件是所述簾式氣體的流率和所述簾式氣體的分壓，

所述工藝條件包括所述室的壓強(qiáng)和所述室的排空速率，并且

所述室內(nèi)的所述簾式氣體的經(jīng)調(diào)節(jié)的所述流動(dòng)條件是以下項(xiàng)中的一種以上：所述簾式氣體的經(jīng)調(diào)節(jié)的流率、所述簾式氣體的經(jīng)調(diào)節(jié)的分壓、由所述室的經(jīng)調(diào)節(jié)的壓強(qiáng)導(dǎo)致的流動(dòng)條件以及由所述室的經(jīng)調(diào)節(jié)的排空速率導(dǎo)致的流動(dòng)條件。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的方法，其中(e)在所述膜沉積的階段期間進(jìn)行。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中(e)在膜沉積的以下階段中的一個(gè)或多個(gè)階段期間進(jìn)行：將每個(gè)站中的襯底暴露于材料的前體，從所述室除去所述前體中的至少一些，激活所述前體在每個(gè)襯底上的反應(yīng)，以及在所述反應(yīng)之后除去所述室內(nèi)的氣體中的至少一些。