[發明專利]一種新型酸性蝕刻液資源回收利用方法及回收利用系統

在審

• 申請號: 201710456226.6
• 申請日: 2017-06-16
• 公開（公告）號: CN107099802A
• 公開（公告）日: 2017-08-29
• 發明（設計）人: 吳超;查長虹;林得發;羅東軍
• 申請（專利權）人: 深圳市新銳思環保科技有限公司
• 主分類號: C23F1/46
• 分類號: C23F1/46;C22B7/00;C22B15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型酸性蝕刻液資源回收利用方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)將待處理的酸性蝕刻廢液收集至蝕刻液收集槽中；

2)將蝕刻液收集槽中的酸性蝕刻液加入反應槽，再加入硫酸，反應后形成高酸含銅溶液，

3)將高酸含銅溶液放入擴散滲析槽內，在擴散滲析槽內用擴散滲析法將高酸含銅溶液分離，得高濃度鹽酸溶液和硫酸銅與少量氯化銅的混合溶液；

4)將所述鹽酸收集并返回至蝕刻產線進行再利用，將硫酸銅與少量氯化銅的混合溶液經冷凍結晶分離得五水硫酸銅粗產品和氯化銅溶液；

5)將所述五水硫酸銅粗產品再經重結晶提純得高品質的五水硫酸銅。

2.一種酸性蝕刻液資源回收利用系統，其特征在于，包括用于收集蝕刻生產線的酸性蝕刻液的蝕刻液收集槽、用于加入硫酸與酸性蝕刻液反應的反應槽、擴散滲析槽、結晶槽和重結晶槽；

所述蝕刻液收集槽的酸性蝕刻液輸出端與所述反應槽的入口連通，所述蝕刻液收集槽中的酸性蝕刻液輸入所述反應槽中，與加入的硫酸反應形成高酸含銅溶液；

所述反應槽的高酸含銅溶液輸出端與所述擴散滲析槽的入口連通，所述反應槽內形成的高酸含銅溶液輸入所述擴散滲析槽中，經擴散滲析法將所述高酸含銅溶液分離，得高濃度鹽酸溶液和硫酸銅與氯化銅的混合溶液；

所述擴散滲析槽的第一輸出端與一鹽酸收集槽連通，將所述擴散滲析槽分離出的所述鹽酸溶液輸出至所述鹽酸收集槽中，所述鹽酸收集槽的輸出端與蝕刻生產線連通；

所述擴散滲析槽的第二輸出端將所述擴散滲析槽分離出的硫酸銅與氯化銅的混合溶液輸入所述結晶槽中，冷凍結晶分離得五水硫酸銅粗產品和氯化銅溶液；

所述重結晶槽用于對所述五水硫酸銅粗產品進行重結晶提純，得高品質的五水硫酸銅。

3.根據權利要求2所述的酸性蝕刻液資源回收利用系統，其特征在于，還包括用于儲存所述硫酸銅與氯化銅的混合溶液的含銅溶液儲存槽，所述含銅溶液儲存槽連通在所述擴散滲析槽與所述結晶槽之間，所述擴散滲析槽的第二輸出端與所述含銅溶液儲存槽連通，所述含銅溶液儲存槽的輸出端與所述結晶槽連通，所述擴散滲析槽的第二輸出端將所述硫酸銅與氯化銅的混合溶液輸入所述含銅溶液儲存槽中，所述含銅溶液儲存槽再將所述硫酸銅與氯化銅的混合溶液輸入所述結晶槽內。

4.根據權利要求2所述的酸性蝕刻液資源回收利用系統，其特征在于，所述重結晶槽設置在所述結晶槽的下方，所述結晶槽的結晶體輸出端與所述重結晶槽連通，將所述五水硫酸銅粗產品輸入所述重結晶槽中。