[發明專利]一種柔性結構支撐襯底的制備方法

在審

• 申請號: 201710455849.1
• 申請日: 2017-06-16
• 公開（公告）號: CN107275186A
• 公開（公告）日: 2017-10-20
• 發明（設計）人: 毛明明;馬滌非;張露;黃珊珊;張小賓
• 申請（專利權）人: 中山德華芯片技術有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司44245
• 代理人: 馮炳輝

1.一種柔性結構支撐襯底的制備方法，其特征在于：該方法是將鐵氟龍薄膜貼在需要粘結的外延片表面，利用鐵氟龍薄膜的極度耐腐蝕性及熱塑性，確定特定厚度的薄膜，在高溫下進行處理，薄膜在高溫下呈現微熔特性，高溫處理完畢后再進行降溫處理，又將重新轉為固態，從而將薄膜與外延片進行粘接，在襯底剝離過程中起到支撐的作用；其包括以下步驟：

1)將生長完畢的外延片進行有機清洗及表面氧化物清洗，以提高金屬層在外延片表面的粘合力，其中，所述外延片包括從下至上依次層疊設置的襯底、AlAs犧牲層、器件功能結構層；

2)將清洗完畢的外延片移至電子束蒸發設備，采用電子束蒸發的方式進行金屬蒸鍍，蒸鍍完畢進行快速熱退火，使之形成歐姆接觸；

3)將鐵氟龍薄膜貼至已進行金屬制備的外延片表面；

4)將貼好的外延片放至退火爐進行高溫處理；

5)冷卻后得到粘接完好的外延片，此時能夠進行后續襯底剝離過程，粘接完好的薄膜將對剝離下的柔性結構提供良好的支撐。

2.根據權利要求1所述的一種柔性結構支撐襯底的制備方法，其特征在于：在步驟1)中，進行的有機清洗及表面氧化物清洗依次包括：丙酮超聲清洗5-7分鐘；異丙醇超聲清洗5-7分鐘；稀釋的鹽酸溶液50秒至70秒，稀釋配比為HCl：H₂O＝1：1；BOE溶液50秒至70秒。

3.根據權利要求1所述的一種柔性結構支撐襯底的制備方法，其特征在于：在步驟1)中，所述AlAs犧牲層厚度為5-15nm。

4.根據權利要求1所述的一種柔性結構支撐襯底的制備方法，其特征在于：在步驟1)中，所述金屬層中的金屬選擇有金粒、金鍺鎳粒、銀粒、鉑金粒，依據生長的外延層接觸層種類和摻雜類型而定。

5.根據權利要求1所述的一種柔性結構支撐襯底的制備方法，其特征在于：在步驟2)中，蒸鍍時，真空度控制在1E-7Torr之上，蒸鍍速率設定在2.5埃每秒至3.5埃每秒，蒸鍍厚度為3微米至5微米。

6.根據權利要求1所述的一種柔性結構支撐襯底的制備方法，其特征在于：在步驟3)中，所述鐵氟龍薄膜的厚度為50微米，形狀為圓形，直徑比待剝離的外延片直徑大3厘米。

7.根據權利要求1所述的一種柔性結構支撐襯底的制備方法，其特征在于：在步驟4)中，高溫處理溫度為340度，且通以氮氣氣氛，流量2L/min，高溫處理時間為2分鐘。