[發明專利]閥門關閉裝置及閥門關閉方法

有效

• 申請號: 201710454063.8
• 申請日: 2017-06-15
• 公開（公告）號: CN107289180B
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發明（設計）人: 李憲朋
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: F16K31/122
• 分類號: F16K31/122
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

本發明提供一種閥門關閉裝置及閥門關閉方法。該閥門關閉裝置包括外殼、貫穿外殼底部的第一進氣口、設于外殼內周面上的抵擋部、貫穿外殼側壁且位于抵擋部上方的第二進氣口、位于抵擋部與外殼底部之間的密封盤、露置于外殼頂部且一端伸入外殼內的傳動裝置；通過向第一進氣口通入流量為第一流量的氣體，推動密封盤向上移動至抵擋于所述抵擋部的同時推動傳動裝置伸入外殼內的一端向上移動至第二進氣口上方的第一位置，帶動閥門快速關閉，之后向第二進氣口通入流量為第二流量的氣體，推動傳動裝置伸入外殼內的一端從第一位置繼續向上移動，帶動閥門緩慢關閉直至完全閉合，保證閥門關閉速率的同時避免閥門閉合時因碰撞產生顆粒，提升產品品質。

技術領域

本發明涉及顯示裝置制程領域，尤其涉及一種閥門關閉裝置及閥門關閉方法。

背景技術

薄膜晶體管(Thin Film Transistor，TFT)是目前液晶顯示裝置(Liquid CrystalDisplay，LCD)和有機電致發光顯示裝置(Organic Light-Emitting Diode，AMOLED)中的主要驅動元件，直接關系到高性能平板顯示裝置的發展方向。因此，不論是LCD的顯示面板，還是OLED的顯示面板，通常都具有一TFT基板。以LCD的顯示面板為例，其主要是由一TFT基板、一彩色濾光片(Color Filter，CF)基板、以及配置于TFT基板和CF基板間的液晶層(LiquidCrystal Layer)所構成，其工作原理是通過在TFT基板與CF基板上施加驅動電壓來控制液晶層中液晶分子的旋轉，將背光模組的光線折射出來產生畫面。

目前，薄膜制程技術廣泛應用于LCD和OLED上，由于利用薄膜制程技術所生產的產品具有很高附加價值，使薄膜制程技術與薄膜材料被廣泛應用于研究和實際，同時帶來鍍膜技術的迅速發展。通常，鍍膜方法主要包括離子鍍膜法、射頻磁控濺鍍、真空蒸發法、化學氣相沉積法等。隨著人們對視覺效果越來越高的要求，TFT基板上的線路愈發密集，因而需要對鍍膜過程中產生的顆粒(Particle)進行更嚴格的控制，防止顆粒對TFT基板產生不良影響。

現有改善顆粒的方式主要為通過閥門關閉裝置控制鍍膜設備閥門的開關動作，在閥門閉合的瞬間進行降速，防止閥門閉合時碰撞產生顆粒進入到鍍膜設備中。如圖1所示為現有的閥門關閉裝置，包括：中空的外殼100、貫穿所述外殼100底部的進氣口200、露置于外殼100頂部且一端伸入外殼100內的傳動裝置300，閥門需要關閉時，向所述進氣口200通入氣體帶動傳動裝置300向上移動，從而關閉閥門，在閥門剛開始關閉時使進氣口200的進氣速率大，而在閥門即將完全閉合時降低進氣口200的進氣速率，從而使鍍膜設備閥門降速閉合，另一種現有的閥門關閉裝置，在圖1所示的閥門關閉裝置的基礎上，于外殼100底部設置多個連接不同管徑的氣管的進氣口200，在閥門剛開始關閉時利用大管徑的氣管進氣，而在閥門即將完全閉合時利用小管徑的氣管進氣，從而使鍍膜設備閥門降速閉合，然而這兩種閥門關閉裝置均是對進氣口200進行節流，為了保證閥門閉合時不會因碰撞產生顆粒，需要較長的緩沖距離和時間才能實現閥門降速閉合，閥門的關閉速率低，會對生產時間(tacttime)造成一定的負面影響，降低生產速率，提高生產成本。

發明內容

本發明的目的在于提供一種閥門關閉裝置，能夠在保證閥門關閉速率的同時避免閥門閉合時因碰撞產生顆粒，提升產品品質。

本發明的目的還在于提供一種閥門關閉方法，能夠在保證閥門關閉速率的同時避免閥門閉合時因碰撞產生顆粒，提升產品品質。

為實現上述目的，本發明提供一種閥門關閉裝置，包括：中空的外殼、貫穿所述外殼底部的第一進氣口、設于所述外殼內周面上的抵擋部、貫穿所述外殼側壁且位于抵擋部上方的第二進氣口、位于抵擋部與外殼底部之間的密封盤、露置于外殼頂部且一端伸入外殼內的傳動裝置；所述傳動裝置伸入外殼內的一端與外殼內周面配合且位于外殼頂部與抵擋部之間；所述密封盤與外殼內周面配合；