[發明專利]一種復合鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201710451162.0
• 申請日: 2017-06-15
• 公開（公告）號: CN107385395B
• 公開（公告）日: 2019-07-05
• 發明（設計）人: 謝立峰;姚衛平
• 申請（專利權）人: 嘉興敏勝汽車零部件有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/34;C23C16/44
• 代理公司: 寧波市鄞州盛飛專利代理事務所(特殊普通合伙) 33243
• 代理人: 張向飛

1.一種復合鍍膜裝置，其特征在于，包括：鍍膜裝置臺，所述鍍膜裝置臺的側端設有固定板，鍍膜裝置臺上設有蒸發鍍膜機構、濺射鍍膜機構 以及化學鍍膜機構，所述蒸發鍍膜機構位于鍍膜裝置臺中間，所述濺射鍍膜機構位于蒸發鍍膜機構左上方，所述化學鍍膜機構位于蒸發鍍膜機構左下方，所述蒸發鍍膜機構具有第一真空罩體，所述真空第一罩體下端開設 有第一真空系統，所述第一真空罩體內下端固設有支撐架，所述支撐架上 架設有坩堝，所述第一真空罩體內上端設有第一連接桿，所述第一連接桿 下端設有連接板，所述連接板下側固定有第一基片，且所述第一基片位于 坩堝上方。

2.根據權利要求 1 所述的一種復合鍍膜裝置，其特征在于，所述濺射 鍍膜具有第二真空罩體，所述第二真空罩體下端開設有第二真空系統以及 氬氣入口，所述第二真空罩體的內下端設有接地陽極塊，所述接地陽極的 上側設有第二基片，所述第二真空罩體內上端設有陰極塊，所述陰極塊的 下側設有靶塊。

3.根據權利要求 1 所述的一種復合鍍膜裝置，其特征在于復合鍍膜裝置，所述化學鍍膜機構具有真空泵，所述真空泵的上端設有第三真空罩，所述第三真空罩的內下端設有陰極處理臺，所述第三真空罩外側設有電爐，所述第三真空罩的上端設有混合氣管道，所述混合氣管道的一端設有氬氣輸送單元、氮氣輸送單元以及氣化單元，所述氣化單元包括氫氣輸送單元以及氣化器，所述氫氣輸送單元的輸出端與氣化器連接，所述氣化器的輸出端與混合氣管道相連。