[發(fā)明專利]一種TFT?LCD玻璃基板蝕刻液添加劑

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710449647.6
• 申請(qǐng)日: 2017-06-12
• 公開（公告）號(hào): CN107151104A
• 公開（公告）日: 2017-09-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 白航空
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥市惠科精密模具有限公司
• 主分類號(hào): C03C15/00
• 分類號(hào): C03C15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及TFT-LCD技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種TFT-LCD玻璃基板蝕刻液添加劑。

背景技術(shù)

TFT-LCD玻璃基板生產(chǎn)過程中，酸性蝕刻是一個(gè)重要的步驟。隨著蝕刻的進(jìn)行，蝕刻液中銅離子濃度越來越高，蝕刻速度越來越慢，如果不更換會(huì)嚴(yán)重影響蝕刻進(jìn)度及質(zhì)量。酸性蝕刻廢液不僅含有大量銅離子，還含有其他有價(jià)值的化學(xué)物質(zhì)。因此廠家基本上都會(huì)自行處理或者委托有資格的商家進(jìn)行回收處理。

現(xiàn)有蝕刻液在生產(chǎn)使用過程中存在以下不足之處：1、價(jià)格貴；2、壽命短，蝕刻量少；3、蝕刻的板面容易出現(xiàn)粗大的麻點(diǎn)，需要后續(xù)加工；4、進(jìn)行大表面陰紋版面蝕刻時(shí)，邊緣部位較難蝕刻出坡度。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在提供了一種TFT-LCD玻璃基板蝕刻液添加劑。

本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種TFT-LCD玻璃基板蝕刻液添加劑，其是由以下成份按照重量百分比組成：羧酸酯與羧酸的混合物32-44％、次氯酸鈉15-18％、增粘劑9-16％、表面活性劑7-11％、促進(jìn)劑10-12％、整平劑5-9％、穩(wěn)定劑8-14％。

所述羧酸和羧酸酯為C2-24直鏈或帶有支鏈的羧酸和對(duì)應(yīng)羧酸酯。

所述整平劑為氨基三乙醇、聚乙烯亞胺烷基化合物、N,N-二甲基二硫代甲酰胺丙烷磺酸鈉和羥基丙烷磺酸吡啶嗡鹽中的一種或幾種組合。

所述表面活性劑為烷基酚聚氧乙烯醚、十二烷基硫酸鈉和壬基酚聚氧乙烯醚中一種或幾種組合。

一種TFT-LCD玻璃基板蝕刻液添加劑的制備方法，包括：(1)按上述重量百分比將羧酸酯與羧酸的混合物與次氯酸鈉混合，在溫度低于80℃下攪拌30-45min；(2)向(1)中溶液中加入增粘劑、表面活性劑，然后攪拌，使液體均勻；(3)向(2)中溶液中加入促進(jìn)劑、整平劑、穩(wěn)定劑，然后在溫度40-60℃的情況下攪拌10-30min，使液體混合均勻，即得。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明添加劑配制蝕刻溶液，使用壽命長(zhǎng)，工藝穩(wěn)定；本發(fā)明添加劑配制蝕刻溶液，蝕刻的板面，光滑平整，不需要后續(xù)加工；本發(fā)明添加劑配制蝕刻溶液可穩(wěn)定蝕刻速度恒定，提高蝕刻系數(shù)比及均勻性，同時(shí)配合促進(jìn)劑可以提升蝕刻速度；有效降低鹽酸的使用量，在工藝上有利于生產(chǎn)效率，且經(jīng)濟(jì)實(shí)用，配制方法簡(jiǎn)單，蝕刻過程中不產(chǎn)生有害氣體。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

實(shí)施例1一種TFT-LCD玻璃基板蝕刻液添加劑，其是由以下成份按照重量百分比組成：羧酸酯與羧酸的混合物32％、次氯酸鈉15％、增粘劑9％、表面活性劑7％、促進(jìn)劑10％、整平劑5％、穩(wěn)定劑8％。

所述羧酸和羧酸酯為C2-24直鏈或帶有支鏈的羧酸和對(duì)應(yīng)羧酸酯。

所述整平劑為氨基三乙醇、聚乙烯亞胺烷基化合物、N,N-二甲基二硫代甲酰胺丙烷磺酸鈉和羥基丙烷磺酸吡啶嗡鹽中的一種或幾種組合。

所述表面活性劑為烷基酚聚氧乙烯醚、十二烷基硫酸鈉和壬基酚聚氧乙烯醚中一種或幾種組合。

一種TFT-LCD玻璃基板蝕刻液添加劑的制備方法，包括：(1)按上述重量百分比將羧酸酯與羧酸的混合物與次氯酸鈉混合，在溫度低于80℃下攪拌30-45min；(2)向(1)中溶液中加入增粘劑、表面活性劑，然后攪拌，使液體均勻；(3)向(2)中溶液中加入促進(jìn)劑、整平劑、穩(wěn)定劑，然后在溫度40-60℃的情況下攪拌10-30min，使液體混合均勻，即得。

實(shí)施例2一種TFT-LCD玻璃基板蝕刻液添加劑，其是由以下成份按照重量百分比組成：羧酸酯與羧酸的混合物44％、次氯酸鈉18％、增粘劑16％、表面活性劑11％、促進(jìn)劑12％、整平劑9％、穩(wěn)定劑14％。

所述羧酸和羧酸酯為C2-24直鏈或帶有支鏈的羧酸和對(duì)應(yīng)羧酸酯。

所述整平劑為氨基三乙醇、聚乙烯亞胺烷基化合物、N,N-二甲基二硫代甲酰胺丙烷磺酸鈉和羥基丙烷磺酸吡啶嗡鹽中的一種或幾種組合。

所述表面活性劑為烷基酚聚氧乙烯醚、十二烷基硫酸鈉和壬基酚聚氧乙烯醚中一種或幾種組合。