[發明專利]一種電容式雙橢圓盤的微機械帶通濾波器

在審

• 申請號: 201710449384.9
• 申請日: 2017-06-14
• 公開（公告）號: CN107248851A
• 公開（公告）日: 2017-10-13
• 發明（設計）人: 任靈
• 申請（專利權）人: 杭州電子科技大學
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/05;H03H9/46
• 代理公司: 杭州奧創知識產權代理有限公司33272
• 代理人: 王佳健

1.一種電容式雙橢圓盤的微機械帶通濾波器，其機械部分結構對稱,包括兩塊尺寸完全相同的振動橢圓盤，耦合梁、輸入電極、輸出電極、兩個尺寸完全相同的橢圓盤錨點及絕緣底層；電氣部分包括交流電壓源、輸入端電阻、負載電阻、地；兩塊振動橢圓盤通過設置在橢圓盤長軸外連接處的耦合梁連接，輸入輸出電極分別圍繞在兩塊振動橢圓盤周圍，構成電容換能式諧振器。

2.根據權利要求1所述的一種電容式雙橢圓盤的微機械帶通濾波器，其特征在于：振動橢圓盤、錨點、電極和耦合梁由多晶硅制成；錨點下底面連接基片，上底面連接橢圓盤下底面使其懸空在基片上，錨點上引入偏置電壓焊點并連接到封裝管殼引腳上，并接入一定值的直流偏置電壓。

3.根據權利要求1所述的一種電容式雙橢圓盤的微機械帶通濾波器，其特征在于：橢圓盤、耦合梁厚度一致，即它們的結構位于同一層；輸入電極上方引入交流電壓焊點連接到封裝管殼引腳上，并接入交流電壓；輸出電極上方引入交流電流焊點連接到封裝管殼引腳上，會有相應的電流信號流出，并通過負載電阻轉換為輸出電壓信號。

4.根據權利要求1所述的一種電容式雙橢圓盤的微機械帶通濾波器，其特征在于：橢圓盤和電極間留有狹小的縫隙，在輸入電極上加載交流電壓，可以對振動橢圓盤產生一定的水平方向上的靜電推挽力，該推挽力會使諧振塊處于擴張或收縮狀態，使橢圓盤做類似于呼吸狀振動；縫隙的寬度要保證橢圓盤擴張位移最大時不能與電極觸碰。

5.根據權利要求1所述的一種電容式雙橢圓盤的微機械帶通濾波器，其特征在于：設計耦合梁的長度滿足λ/4的整數倍，使橢圓盤擁有同相和反相兩種振動模態,并且能量傳輸損失最小。