[發明專利]一種集成電路清潔毛刷

在審

• 申請號: 201710448457.2
• 申請日: 2017-06-14
• 公開（公告）號: CN107127178A
• 公開（公告）日: 2017-09-05
• 發明（設計）人: 張建
• 申請（專利權）人: 張建
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B1/04;H01L21/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及集成電路領域，特別是一種集成電路清潔毛刷。

背景技術

為集成電路元器件的載體，半導體基板在原初狀態下的性能愈發的引起了行業的關注。研究表明，半導體基板遍歷盡可能多的必要加工工藝對基板產品整體良率的提高有很大的促進作用，根據產品的需要，這些可能的加工工藝包括但不限于刻蝕、顯影、涂膠以及研磨等工藝。由于各個工藝之間相對獨立，每一工藝步驟中所使用的化學藥劑也不盡相同，所以半導體基板通常每完成一道或幾道工序之后，對基板進行清洗處理的工作不可或缺。這也是為什么半導體行業對清潔機臺的需求異常旺盛的原因。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術的缺點，提供一種集成電路清潔毛刷。為實現上述目的本發明采用以下技術方案：

一種集成電路清潔毛刷，包括橡膠吹氣球、套把、導氣管、集塵瓶、扇葉、過濾網、毛刷、吸塵管、套筒、防靜電膠套，橡膠吹氣球出氣口連接導氣管，導氣管出氣口對應扇葉，套把黏貼安裝在橡膠吹氣球一側，集塵瓶螺釘安裝在扇葉上端，過濾網螺釘安裝在套筒下端，毛刷安裝在套筒底端外徑上，吸塵管安裝在套筒底端內徑上，防靜電膠套套裝在套筒外壁。

優選的，所述扇葉由旋轉中軸和扇片組成，旋轉中軸桿體上膠接有扇片。

優選的，所述集塵瓶螺紋安裝在套筒內徑，可單獨拆裝。

與現有技術相比，本發明具有以下優點：一種集成電路清潔毛刷，毛刷安裝在套筒底端外徑上，用于梳理集成電路板的灰塵，吸塵管安裝在套筒底端內徑上，擠壓橡膠吹氣球，橡膠吹氣球通過導氣管帶動扇葉，扇葉旋轉帶動空氣對流，將灰塵吸入集塵瓶內部，過濾網過濾雜質，防靜電膠套具有很好的防靜電功能。

附圖說明

圖1為本發明集成電路清潔毛刷的結構示意圖。

圖2為本發明扇葉的結構示意圖。

圖3為本發明毛刷和吸塵管底部安裝結構示意圖。

圖中：1、橡膠吹氣球，2、套把，3、導氣管，4、集塵瓶，5、扇葉，6、過濾網，7、毛刷，8、吸塵管，9、套筒，10、防靜電膠套，11、旋轉中軸，12、扇片。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步詳細闡述。

如圖1、圖2和圖3所示，一種集成電路清潔毛刷，包括橡膠吹氣球1、套把2、導氣管3、集塵瓶4、扇葉5、過濾網6、毛刷7、吸塵管8、套筒9、防靜電膠套10，橡膠吹氣球1出氣口連接導氣管3，導氣管3出氣口對應扇葉5，套把2黏貼安裝在橡膠吹氣球1一側，集塵瓶4螺釘安裝在扇葉5上端，過濾網6螺釘安裝在套筒9下端，毛刷7安裝在套筒9底端外徑上，吸塵管8安裝在套筒9底端內徑上，防靜電膠套10套裝在套筒9外壁。

所述扇葉5由旋轉中軸11和扇片12組成，旋轉中軸11桿體上膠接有扇片12。

所述集塵瓶4螺紋安裝在套筒9內徑，可單獨拆裝。

本發明工作原理：一種集成電路清潔毛刷，毛刷安裝在套筒底端外徑上，用于梳理集成電路板的灰塵，吸塵管安裝在套筒底端內徑上，擠壓橡膠吹氣球，橡膠吹氣球通過導氣管帶動扇葉，扇葉旋轉帶動空氣對流，將灰塵吸入集塵瓶內部，過濾網過濾雜質，防靜電膠套具有很好的防靜電功能。集塵瓶螺紋安裝在套筒內徑，可單獨拆裝，方便清理。

以上所述為本發明較佳實施例，對于本領域的普通技術人員而言，根據本發明的教導，在不脫離本發明的原理與精神的情況下，對實施方式所進行的改變、修改、替換和變型仍落入本發明的保護范圍之內。