[發明專利]基于固態和空腔結合的薄膜體聲波諧振器及加工方法在審
| 申請號： | 201710446794.8 | 申請日： | 2017-06-14 |
| 公開（公告）號： | CN107171654A | 公開（公告）日： | 2017-09-15 |
| 發明（設計）人： | 王國浩;張樹民;陳海龍;汪泉 | 申請（專利權）人： | 杭州左藍微電子技術有限公司 |
| 主分類號： | H03H9/02 | 分類號： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/10;H03H3/02 |
| 代理公司： | 南京經緯專利商標代理有限公司32200 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭州經濟技術開發*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 固態 空腔 結合 薄膜 聲波 諧振器 加工 方法 | ||
1.一種薄膜體聲波諧振器，其特征在于：包括基底、依次形成在所述基底第一表面的反射層結構、壓電換能器堆疊結構；在與所述基底第一表面相對的第二表面上包括空腔；所述空腔與所述壓電換能器堆疊結構相對設置，所述壓電換能器堆疊結構包括底電極、壓電層、頂電極的三明治結構。
2.根據權利要求1所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：所述空腔停止在所述反射層結構表面。
3.根據權利要求1所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：所述反射層結構包括布拉格反射層結構。
4.根據權利要求3所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：所述布拉格反射層結構包括交替沉積的多組不同材料的反射層。
5.根據權利要求1所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：還包括形成在所述基底的第二表面上的掩模層。
6.一種薄膜體聲波諧振器的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：
準備基底；
在所述基底的第一表面上沉積反射層；
在所述反射層上沉積壓電換能器堆疊結構；
從與所述基底的第一表面相對的第二表面刻蝕所述基底，形成與所述壓電換能器堆疊結構相對的空腔結構。
7.根據權利要求6所述的薄膜體聲波諧振器的制備方法，其特征在于：所述反射層包括布拉格反射層結構。
8.根據權利要求7所述的薄膜體聲波諧振器的制備方法，其特征在于：所述沉積反射層步驟包括交替沉積多組不同材料的反射層。
9.根據權利要求6所述的薄膜體聲波諧振器的制備方法，其特征在于：還包括在所述基底的第二表面沉積刻蝕掩模的步驟。
10.根據權利要求6所述的薄膜體聲波諧振器的制備方法，其特征在于：所述刻蝕停止于所述反射層。
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