[發明專利]激光劃線設備

在審

• 申請號: 201710446715.3
• 申請日: 2017-06-14
• 公開（公告）號: CN107186349A
• 公開（公告）日: 2017-09-22
• 發明（設計）人: 徐容珪
• 申請（專利權）人: 塔工程有限公司
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362;B23K26/70;B23K26/06;B23K26/38
• 代理公司: 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙)11363
• 代理人: 王建國,李琳

1.一種激光劃線設備，包括：

劃線頭單元；以及

托臺，基板被裝載在托臺上，

其中，劃線頭單元相對于托臺移動，并且

其中，劃線頭單元包括

透鏡組件，其從激光發生設備接收切割用激光束，以改變切割用激光束的焦點，和

距離測量傳感器組件，其包括距離測量傳感器并且具有切割用激光束經過其中的光束通過單元，距離測量傳感器包括產生測量用激光束的光發射單元和接收測量用激光束的光接收單元，切割用激光束的焦距在透鏡組件中被控制。

2.根據權利要求1所述的激光劃線設備，其中，透鏡組件包括形成切割用激光束的焦點的聚焦透鏡和調整聚焦透鏡的位置的透鏡驅動單元。

3.根據權利要求2所述的激光劃線設備，其中，光發射單元以非直角的角度向基板照射測量用激光束，并且光接收單元以非直角的角度接收到達基板的測量用激光束。

4.根據權利要求2所述的激光劃線設備，其中，光束通過單元形成在光發射單元與光接收單元之間。

5.根據權利要求4所述的激光劃線設備，其中，向基板照射測量用激光束的點在切割用激光束的照射位置之前。

6.根據權利要求5所述的激光劃線設備，還包括：

主控制單元，其從距離測量傳感器接收距離感測信息并且控制透鏡驅動單元的驅動。

7.根據權利要求6所述的激光劃線設備，其中，主控制單元通過考慮要向距離測量傳感器的感測點照射切割用激光束的時間來計算透鏡驅動單元的驅動完成時間。

8.根據權利要求6所述的激光劃線設備，其中，主控制單元通過考慮距離測量傳感器的處理時間Ts、主控制單元的處理時間Tm和時間Td來計算透鏡驅動單元的驅動完成時間，時間Td是直到通過從主控制單元輸出控制信號而實際地驅動透鏡驅動單元所需的時間。

9.根據權利要求7所述的激光劃線設備，其中，主控制單元通過考慮距離測量傳感器的感測點與切割用激光束的照射點之間的距離來限定劃線頭單元與基板之間的相對移動速度的上限值。

10.根據權利要求6所述的激光劃線設備，其中，主控制單元根據劃線頭單元與基板之間的相對移動速度來設定距離測量傳感器的感測周期。