[發(fā)明專(zhuān)利]一種碳鎳納米棒薄膜的制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710444800.6
• 申請(qǐng)日: 2017-06-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107267927A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李惠;徐卓器;巫志城;許寧
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 復(fù)旦大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/28
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/28;C23C14/18;C23C14/06;C23C14/58
• 代理公司: 上海正旦專(zhuān)利代理有限公司31200
• 代理人: 陸飛,陸尤

1.一種碳鎳納米棒薄膜的制備方法，所述碳鎳納米棒指的是過(guò)渡金屬Ni的碳化物NiC_x的棒狀一維納米結(jié)構(gòu)，其特征在于制備的具體步驟為：

（1）首先，在真空度為2′10^-3 Pa的真空腔中，在清洗過(guò)的光滑石英襯底表面沉積一層10-30納米厚度的金屬Ni作為催化層和前驅(qū)物；沉積過(guò)程采用脈沖激光沉積方法；

（2）其次，利用同樣的方法在沉積有Ni的石英襯底上繼續(xù)沉積石墨粉末，沉積時(shí)間4-6分鐘；

（3）再次，將沉積有Ni和石墨粉末的石英襯底移入管式退火爐中進(jìn)行高溫退火，退火時(shí)間為5-60分鐘，退火溫度為1100-1250攝氏度；

（4）最后，將管式退火爐自然冷卻，待溫度降為室溫時(shí)取出樣品，得到NiC_x納米棒薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳鎳納米棒薄膜的制備方法，其特征在于，所述熱退火過(guò)程的退火氣氛為氮?dú)猓煌嘶饡r(shí)間為40-60分鐘，退火溫度為1150-1200攝氏度，退火氣壓為1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，退火氣體流量為0.8-1.2升/分鐘。