[發(fā)明專利]MEMS麥克風(fēng)貼膜設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710443604.7
• 申請日: 2017-06-13
• 公開（公告）號: CN107264865B
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉丹
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市易勝德機(jī)械設(shè)備有限公司
• 主分類號: B65B33/02
• 分類號: B65B33/02
• 代理公司: 深圳市華勤知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44426
• 代理人: 隆毅

1.一種MEMS麥克風(fēng)貼膜設(shè)備，其特征在于，包括：

取料機(jī)構(gòu)，包括用于吸取MEMS麥克風(fēng)的取料吸嘴組，以及用于驅(qū)動該取料吸嘴組移動的取料驅(qū)動裝置，所述取料吸嘴組包括若干取料吸嘴；

載料機(jī)構(gòu)，包括轉(zhuǎn)盤和驅(qū)動該轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)盤驅(qū)動裝置，其中，該轉(zhuǎn)盤上設(shè)有至少兩組的工位組，每組所述工位組包括與所述取料吸嘴數(shù)量相同的工位，該工位用于放置所述MEMS麥克風(fēng)，且每一所述工位的大小和形狀與所述MEMS麥克風(fēng)適配；

送膜機(jī)構(gòu)，包括送膜輪、收膜輪、位于所述送膜輪與收膜輪之間的壓膜裝置，以及用于驅(qū)動所述送膜輪和/或收膜輪的送膜驅(qū)動裝置，其中，膜帶的兩端分別纏繞在所述送膜輪和收膜輪上，且所述膜帶的中段被夾持在所述壓膜裝置上；

校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，包括CCD、角度校準(zhǔn)裝置和用于驅(qū)動所述角度校準(zhǔn)裝置轉(zhuǎn)動的角度驅(qū)動裝置，其中，所述壓膜裝置設(shè)置在所述角度校準(zhǔn)裝置上，所述CCD位于所述角度校準(zhǔn)裝置的下方；以及

貼膜機(jī)構(gòu)，位于壓膜裝置上方，其包括用于將膜帶上的膜片鏟起的鏟刀、用于吸起所述膜片的吸嘴，以及驅(qū)動所述鏟刀和吸嘴的貼膜驅(qū)動裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)貼膜設(shè)備，其特征在于，所述壓膜裝置包括沿所述膜帶的長度方向位于所述CCD兩側(cè)的第一壓膜件和第二壓膜件。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS麥克風(fēng)貼膜設(shè)備，其特征在于，所述角度校準(zhǔn)裝置呈盤狀設(shè)置，在所述角度校準(zhǔn)裝置的中心位置開設(shè)有通孔，所述CCD位于該通孔的正下方，位于所述第一壓膜件和第二壓膜件之間的膜帶位于該通孔的正上方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)貼膜設(shè)備，其特征在于，還包括：

整形機(jī)構(gòu)，包括整形裝置和驅(qū)動所述整形裝置的整形驅(qū)動裝置，其中，所述整形裝置上設(shè)有一凹坑組，該凹坑組包括與所述取料吸嘴數(shù)量相同的凹坑，且所述凹坑的大小、形狀和排布與所述工位組的工位相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)貼膜設(shè)備，其特征在于，所述送膜機(jī)構(gòu)還包括為所述送膜輪和/或收膜輪提供阻尼力的阻尼裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)貼膜設(shè)備，其特征在于，所述貼膜驅(qū)動裝置包括驅(qū)動所述鏟刀和吸嘴沿所述膜帶長度方向移動的X向驅(qū)動裝置、驅(qū)動所述鏟刀和吸嘴沿所述膜帶寬度方向移動的Y向驅(qū)動裝置、以及驅(qū)動吸嘴沿所述膜帶厚度方向移動的Z向驅(qū)動裝置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)貼膜設(shè)備，其特征在于，還包括：

壓緊機(jī)構(gòu)，用于按壓已貼附在所述MEMS麥克風(fēng)上的所述膜片，其中，該壓緊機(jī)構(gòu)包括壓緊裝置，以及驅(qū)動所述壓緊裝置的壓緊驅(qū)動裝置，所述壓緊裝置用于按壓的表面具有彈性。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)貼膜設(shè)備，其特征在于，還包括：

檢測機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述轉(zhuǎn)盤上，用于檢測所述工位組上的MEMS麥克風(fēng)是否呈預(yù)設(shè)的姿態(tài)放置。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)貼膜設(shè)備，其特征在于，還包括：

上下料機(jī)構(gòu)，具有依次放置的第一放置位、第二放置位和第三放置位，其中，在第一放置位的下方設(shè)有第一縱向驅(qū)動裝置，在第三放置位的下方設(shè)有第二縱向驅(qū)動裝置，在沿第一放置位向第三放置位的方向上設(shè)有橫向驅(qū)動裝置。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的MEMS麥克風(fēng)貼膜設(shè)備，其特征在于，每一所述工位內(nèi)設(shè)有用于吸附所述MEMS麥克風(fēng)的氣孔。