[發(fā)明專利]一種用于植物大棚的多功能傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710443491.0 | 申請日： | 2017-06-13 |
| 公開（公告）號： | CN107246895B | 公開（公告）日： | 2020-07-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 黃曉敏 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京世紀(jì)科環(huán)生態(tài)農(nóng)業(yè)研究院 |
| 主分類號： | G01D21/02 | 分類號： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京智行陽光知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11738 | 代理人： | 黃錦陽 |
| 地址： | 100000 北京市通州區(qū)中關(guān)村科技園*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 植物 大棚 多功能 傳感器 | ||
1.一種用于植物大棚的多功能傳感器，其特征在于，包含：
硅基板，在所述硅基板通過激光開槽在硅基板內(nèi)設(shè)置多個槽，所述槽內(nèi)四壁具有絕緣層；
所述槽底部開設(shè)有穿襯底通孔，所述通孔四周形成絕緣層，然后形成有金屬通孔電極；
各個所述槽內(nèi)分別設(shè)置氣體敏感材料層、濕度敏感材料層、光探測材料層、紫外探測材料層、紅外探測材料層；
設(shè)置在各個材料層上的透明導(dǎo)電氧化物層，和所述透明導(dǎo)電氧化物層上的金屬層，所述透明導(dǎo)電氧化物層和所述金屬層通過刻蝕形成連接各個層上電極；
在硅基板未開設(shè)槽的區(qū)域形成連接各個上電極的探測電路，并且通過在未開設(shè)槽的區(qū)域開設(shè)穿襯底通孔連接背面的電極；
所述金屬通孔電極連接至一起共用電極；
探測電路還包括選擇單元，所述選擇單元能夠選擇連接各個槽所對應(yīng)的上電極；
所述光探測材料層、紅外探測材料層、紫外探測材料層的對應(yīng)的槽上方還設(shè)置封裝材料層；
所述封裝材料層不吸收光、紫外線或紅外線；
所述在硅基板未開設(shè)槽的區(qū)域還集成有溫度傳感器；
所述探測電路包括薄膜晶體管；
所述薄膜晶體管的源極連接至共用電極。
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