[發明專利]位置探測器

有效

• 申請號: 201710443423.4
• 申請日: 2017-06-13
• 公開（公告）號: CN107504986B
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發明（設計）人: 巖澤克敏
• 申請（專利權）人: 大隈株式會社
• 主分類號: G01D5/244
• 分類號: G01D5/244
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 何沖

1.一種位置探測器，所述位置探測器用于將從位置傳感器輸出的兩個信號轉換成位置信息，所述兩個信號相對于測得的位移在波長λ的間距處正弦地改變并且具有彼此移動90度的相位，所述位置探測器包括：

存儲器，所述存儲器分別存儲了用于校正包含在所述兩個信號中的偏移量的偏移校正值、用于校正在所述兩個信號之間的相位差的相位校正值、以及用于校正在所述兩個信號之間的振幅比的振幅比校正值；

偏移消除器，所述偏移消除器基于所述偏移校正值中的對應的一個偏移校正值消除來自所述兩個信號中的對應的一個信號的偏移量中的每個偏移量；

相位誤差消除器，所述相位誤差消除器基于所述相位校正值消除來自所述兩個信號中的一個信號的相位誤差分量；

振幅比誤差消除器，所述振幅比誤差消除器基于所述振幅比校正值消除來自所述兩個信號中的所述一個信號的振幅比誤差分量；

插值計算器，所述插值計算器將已經經過對所述偏移量、所述相位誤差分量、以及所述振幅比誤差分量的消除處理的所述兩個信號轉換成位置信息；

半徑計算器，所述半徑計算器計算已經經過對所述偏移量、所述相位誤差分量、以及所述振幅比誤差分量的消除處理的所述兩個信號的平方總和的平方根，并且將所述計算得的平方根作為半徑值輸出；

傅里葉計算器，所述傅里葉計算器通過傅里葉分析，分析相對于所述位置信息的所述半徑值中的改變；

偏移校正值計算器，所述偏移校正值計算器基于在傅里葉計算器中的分析得的結果計算偏移改變值，所述偏移改變值分別代表在所述偏移校正值中的改變量，以基于計算得的偏移改變值中的相應的一個偏移改變值和當前偏移校正值中的相應的一個當前偏移校正值來獲得每個下一偏移校正值；

相位校正值計算器，所述相位校正值計算器計算代表在所述相位校正值中的改變量的相位改變值，以基于計算得的相位改變值和當前相位校正值來獲得下一相位校正值；

振幅比校正值計算器，所述振幅比校正值計算器計算代表在所述振幅比校正值中的改變比率的振幅比改變值，以基于計算得的振幅比改變值和當前振幅比校正值來獲得下一振幅比校正值，以及

虛擬改變值計算器，所述虛擬改變值計算器基于通過所述傅里葉分析獲得的二階分量來計算虛擬相位改變值和虛擬振幅比改變值，所述虛擬相位改變值代表在忽略所述偏移量中的每個偏移量中的改變和在所述振幅比中的改變時所獲得的在所述相位校正值中的另一個改變量，所述虛擬振幅比改變值代表在忽略所述相位差中的改變時所獲得的所述振幅比校正值中的另一個改變比率；其中

所述相位校正值計算器基于所述偏移改變值、所述半徑值、所述虛擬相位改變值和所述虛擬振幅比改變值來計算所述相位改變值。