[發(fā)明專利]一種基于彈性組件的聲音傳感器

在審

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• 申請日: 2017-06-13
• 公開（公告）號: CN107094276A
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃曉敏
• 申請（專利權(quán)）人: 黃曉敏
• 主分類號: H04R19/00
• 分類號: H04R19/00
• 代理公司: 深圳市精英專利事務(wù)所44242
• 代理人: 馮筠

1.一種基于彈性組件的聲音傳感器，其特征在于，所述聲音傳感器包括：

基底；

形成于所述基底表面的橫波發(fā)射元件；

形成于所述基底表面且與所述橫波發(fā)射元件相對設(shè)置的橫波探測元件，用于探測所述橫波發(fā)射元件所發(fā)射的橫波信號；

形成于所述橫波探測元件表面的聲音感測膜，用于感測外界的聲音信號；

其中，所述橫波發(fā)射元件根據(jù)所述外界的聲音信號發(fā)射所述橫波信號，以將所述外界的聲音信號增大，產(chǎn)生聲音增大信號。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲音傳感器，其特征在于，所述聲音傳感器還包括：

形成在所述聲音感測表面的彈性組件，用于吸收所述外界的聲音信號，并緩沖外界的作用力。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的聲音傳感器，其特征在于，所述彈性組件為網(wǎng)格式彈性組件。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的聲音傳感器，其特征在于，所述網(wǎng)格式彈性組件包括：

第一微孔層，其具有多個第一微孔；

第二微孔層，其具有多個與所述第一微孔尺寸不同的第二微孔；和

設(shè)置在所述第一微孔層和所述第二微孔層之間的多層網(wǎng)格布結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的聲音傳感器，其特征在于，所述多層網(wǎng)格布結(jié)構(gòu)具有貫穿所述多層網(wǎng)格布結(jié)構(gòu)的多個孔口；

其中，每一孔口與所述多個第一微孔相對應(yīng)，并與所述第二微孔相對應(yīng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的聲音傳感器，其特征在于，所述多層網(wǎng)格布結(jié)構(gòu)包括：

第一結(jié)構(gòu)層，其上具有多個第一孔口，所述第一孔口沿著垂直于所述第一結(jié)構(gòu)層的長度方向延伸，并與所述第一微孔相通；

第二結(jié)構(gòu)層，其上具有多個第二孔口，所述第二孔口沿著垂直于所述第二結(jié)構(gòu)層的長度方向延伸，并與所述第一孔口相通；

第三結(jié)構(gòu)層，其上具有多個第三孔口，所述第三孔口沿著垂直于所述第三結(jié)構(gòu)層的長度方向延伸，并與所述第二孔口和所述第二微孔相通。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的聲音傳感器，其特征在于，所述第一孔口的尺寸與所述第一微孔一致；

其中，所述第三孔口的尺寸與所述第二微孔一致；

其中，所述第二孔口的直徑大于所述第一微孔或所述第二微孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求4-7中任一項所述的聲音傳感器，其特征在于，所述第一微孔的直徑與所述第二微孔的直徑一致。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的聲音傳感器，其特征在于，所述第二孔口的直徑大于所述第一微孔和所述第二微孔。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的聲音傳感器，其特征在于，所述基底的材料為硅，采用濕法刻蝕工藝選擇性刻蝕所述基底。