[發明專利]用于校準光學安排的方法

有效

• 申請號: 201710440519.5
• 申請日: 2017-06-12
• 公開（公告）號: CN107490347B
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發明（設計）人: F.霍勒;O.保羅;F.維杜勒
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司工業測量技術有限公司
• 主分類號: G01B11/25
• 分類號: G01B11/25
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邱軍

1.對用于確定測量對象的尺寸特性的光學安排進行校準的方法，所述光學安排包括被配置成用于將第一周期性圖案投影到測量體積內的投影區域上的投影儀、以及用于記錄所述投影區域的圖像的相機，所述方法包括以下步驟：

a)相對于所述光學安排將亞光表面安排在所述測量體積中的沿第一軸線的第一位置處，

b)在所述亞光表面上提供與所述第一周期性圖案分開的第二周期性圖案、并且將所述第二周期性圖案沿垂直于所述第一軸線的至少一個第二方向以多個相位步長來偏移，所述至少一個第二方向限定了至少一條第二軸線，

c)使用所述相機來記錄所述第二周期性圖案的圖像并且使用所述第二周期性圖案來確定所述相機的至少一個畸變像差，

d)通過所述投影儀將所述第一周期性圖案投影到所述亞光表面上，

e)使用所述相機來記錄所述第一周期性圖案的圖像并且確定所投影的第一周期性圖案的至少一個圖案點的第一坐標，所述第一坐標是與所述第一軸線有關的，

f)確定所投影的第一周期性圖案的所述至少一個圖案點的第二坐標，所述第二坐標是與所述第二軸線有關的，

g)使得所述亞光表面相對于所述光學安排沿著所述第一軸線移位至第二位置，并且針對所述亞光表面沿著所述第一軸線的多個相對位置，重復步驟b)至f)。

2.如權利要求1所述的方法，其中，所述亞光表面安排在具有顯示控制電子器件的電子裝置的顯示器上，并且其中使用這些顯示控制電子器件來顯示所述第二周期性圖案。

3.如權利要求2所述的方法，其中，在步驟d)至e)期間關掉所述電子裝置。

4.如權利要求2所述的方法，其中，所述電子裝置是平板計算機、智能電話、或移動計算裝置。

5.如權利要求2所述的方法，其中，所述電子裝置具有覆蓋玻璃，并且其中所述亞光表面是通過蝕刻所述覆蓋玻璃或者通過向所述覆蓋玻璃施加亞光膜來在所述覆蓋玻璃上來安排的。

6.如權利要求1所述的方法，其中，通過毛玻璃屏來提供所述亞光表面，所述毛玻璃屏具有面向所述相機的覆蓋玻璃并且具有后側，其中在所述后側上安排了所述第二周期性圖案。

7.如權利要求6所述的方法，其中，所述覆蓋玻璃被設計成是可在第一狀態與第二狀態之間切換的，在所述第一狀態下所述覆蓋玻璃是透明的并且在所述第二狀態下所述覆蓋玻璃是不透明的。

8.如權利要求1所述的方法，其中，通過將所述光學安排相對于所述亞光表面沿著所述至少一條第二軸線移動來使所述第二周期性圖案沿所述至少一條第二方向偏移。

9.如權利要求1所述的方法，其中，所述至少一個第二方向包括各自垂直于所述第一軸線并且相對于彼此垂直的兩個第二方向。

10.如權利要求1所述的方法，其中，所述第一周期性圖案和所述第二周期性圖案包括相同的圖案形式。

11.如權利要求1所述的方法，其中，選擇所述多個相對位置的方式為，使得相鄰的相對位置之間的距離是恒定的。

12.如權利要求1所述的方法，其中，所述第一周期性圖案和所述第二周期性圖案中的至少一者是正弦條紋圖案。

13.如權利要求1所述的方法，其中，所述相機具有多個獨立像素，并且其中針對每個獨立像素確定畸變像差。

14.如權利要求1所述的方法，其中，所述相機具有限定相機坐標系的多個像素，并且其中所述第一和第二坐標指配給多個獨立像素的坐標。