[發明專利]設施管理系統

在審

• 申請號: 201710440516.1
• 申請日: 2017-06-12
• 公開（公告）號: CN107491046A
• 公開（公告）日: 2017-12-19
• 發明（設計）人: 塞巴斯蒂安·庫瑪
• 申請（專利權）人: 塞巴斯蒂安·庫瑪
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418;G06F3/01
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司11021
• 代理人: 倪斌

技術領域

本發明涉及用于規劃和/或控制設施(具體是制造設施(諸如半導體制造設施))的設施管理系統和方法。

背景技術

具體是諸如半導體制造設施的生產設施的設施是高度復雜的設施，其包括多個組件，具體是可以執行制造過程的制造步驟以制造諸如集成電路等產品的制造機器。半導體制造廠是可以制造集成電路的工廠。半導體制造廠的中心部分例如是潔凈室，其包含用于執行例如光刻、清潔或摻雜過程的制造機器以及切割機。半導體制造廠確實包括多個設備項或制造機器。制造機器是可以消費資源以執行用于處理集成半導體電路的制造過程步驟的物理組件。這些資源包括基本氣體資源，例如氫氣或生產過程所需的其他氣體。制造組件所需的其他資源是供給制造機器的電能。此外，還需要其他資源，例如水或其他流體。用于包括機器的制造組件的電力通過電線網分布在生產設施內，并且可以本地存儲在電池中，電池也構成工廠的物理組件。流體和/或氣體資源通過管道提供給制造組件，所述管道將所需流體傳輸給半導體生產設施的潔凈室中的制造機器。消費制造組件所消費的必要資源由這些分布式組件通過電線和/或管道進行供應，并且可以由資源發生器生成。這種設施的組件可以是基本組件或由子組件組成的復雜組件。這些組件可以包括適于將至少兩個不同組件彼此連接的接口組件。接口組件可以由適于將至少一個資源從設施內的第一組件提供給第二組件的資源接口構成。具體是半導體制造設施的高度復雜的設施具有多個復雜的組件，其在組件(諸如制造機器)的操作期間彼此交互，這些操作依賴于對相應組件的有效和可靠的資源供應。復雜設施的規劃、控制和管理是一項具有挑戰性的任務，因為必須考慮到不同技術領域的多個組件之間的相互作用以及環境的影響。

發明內容

因此，本發明的目的是提供一種允許有效地規劃和操作復雜設施的系統和方法。

根據本發明的一個方面，通過包括權利要求1的特征的設施管理系統來實現該目的。

根據本發明的另一方面，本發明提供一種用于規劃和/或控制包括多個組件的設施(具體是制造設施)的設施管理系統，

所述設施管理系統包括至少一個裝置，所述至少一個裝置適于從存儲在所述設施管理系統的數據庫DB中的數據立方體庫DCL加載組件數據對象立方體CDOC，并將組件數據對象立方體CDOC與表示設施的組件C的組件數據對象CDO鏈接，其中鏈接到組件數據對象的所加載的組件數據對象立方體包括相應組件C的參數P，并且在所述設施管理系統的數據編輯模式DEM中是可編輯的。

在根據本發明第一方面的設施管理系統的可能實施例中，所述裝置包括處理單元，所述處理單元適于從存儲在連接到處理單元的數據庫中的數據立方體庫中加載至少一個可編輯組件數據對象立方體，以及適于將加載的組件數據對象立方體鏈接到表示所述設施的至少一個組件的組件數據對象，其中所述裝置還包括命令輸入單元或手勢檢測單元，所述命令輸入單元適于將命令輸入到所述處理單元，所述手勢檢測單元適于從用戶做出且由手勢檢測單元檢測到的手勢導出輸入命令。

在根據本發明第一方面的設施管理系統的另一可能實施例中，設施的組件的操作由設施管理系統通過處理所生成的設施數據模型來控制或模擬，設施數據模型包括組件數據對象，組件數據對象表示設施的組件，并且具有與設施的組件的組件數據對象鏈接的相關聯的組件數據對象立方體。

在根據本發明的第一方面的設施管理系統的另一可能實施例中，設施的組件適于執行由所述設施管理系統控制和/或模擬的操作，

其中，所述設施的組件包括

資源提供組件，

資源消費組件，

傳感器組件，適于感測設施的其他組件對資源的提供和/或消費，并且適于生成對應的傳感器參數，以及

致動器組件，適于控制所述設施的其他組件對資源的提供和/或消費。

在根據本發明的第一方面的設施管理系統的另一可能實施例中，所述設施包括生產設施，具體是半導體制造設施。

在根據本發明的第一方面的設施管理系統的另一可能實施例中，所述設施包括具有建筑組件的建筑物。

在根據本發明的第一方面的設施管理系統的又一可能實施例中，所述設施包括包含車輛組件的車輛。

在根據本發明的第一方面的設施管理系統的又一可能實施例中，表示設施的組件的組件數據對象包括：

嵌入式設施組件數據對象立方體，其包括消費者組件數據對象立方體和源組件數據對象立方體。