[發明專利]位置調整機構、曝光裝置以及物品的制造方法

有效

• 申請號: 201710440396.5
• 申請日: 2017-06-13
• 公開（公告）號: CN107526144B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 大柳健夫;新井學
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;G03F7/20
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 李鵬宇

本發明提供使壓電促動器的調整作業容易的位置調整機構、曝光裝置以及物品的制造方法。位置調整機構(100)調整被收容在底座內部且驅動被驅動部件(101)的壓電促動器(103)的位置，具有第1調節部(102)、驅動機構(105)和第2保持部件(108)，第1調節部由第1結合部(106)可釋放地固定在壓電促動器(103)的一個端部并與被驅動部件(101)連接，驅動機構被固定在壓電促動器(103)的另一個端部并使壓電促動器(103)的位置移動，第2保持部件由第2結合部(107)可釋放地保持驅動機構(105)。驅動機構(105)在從第2保持部件(108)被釋放且第1調節部(102)從一個端部被釋放的狀態下，在規定方向調節壓電促動器(103)的位置。

技術領域

本發明涉及位置調整機構、曝光裝置以及物品的制造方法。

背景技術

若被施加振動或壓力等力則會產生電壓、反之若被施加電壓則會伸縮這樣的現象被稱為壓電效應，具有壓電效應的元件一般被稱為壓電元件或PIEZO元件。壓電元件由于通過電壓的控制可微妙地進行伸縮變化，所以作為可進行微小位置控制的促動器被使用。

作為壓電促動器的使用例，例如可列舉出專利文獻1。在專利文獻1中，在光路的中途配置可變形鏡，進行像差校正，使用壓電促動器來進行該可變形鏡的微小的位置控制。具體地說，通過相對于mm級別厚度的薄鏡的背面，由促動器施加向反射面的面外方向驅動的力，制作任意形狀的反射面。壓電促動器雖然是高分解度，但壓電元件的行程短，所以為了將校正行程納入壓電元件的行程內，有必要進行壓電促動器的位置調整。專利文獻2公開了一種促動器，所述促動器具備可在層疊壓電元件的層疊方向使端部部件動作的壓電單元，在收容壓電單元的保持器和箱體的外周面之間具有間隙。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1:日本特開2015-126037號公報

專利文獻2:日本特開2015-161349號公報

發明內容

發明所要解決的課題

為了進行壓電促動器的調整作業，有必要確保作業空間。然而，在專利文獻2中，僅可進行層疊方向上的位置的微調，在進行調整作業時不能確保作業空間。另一方面，為提高作業性而擴大作業空間會導致安裝壓電促動器的裝置的尺寸擴大，所以并不理想。另外，在組裝工序、維護時等，由于作業空間的關系，還設想有時會發生不能從某個固定方向處理的狀況。因此，需要能夠容易地調整壓電促動器的調整機構。

本發明以提供一種例如使壓電促動器的調整作業容易的位置調整機構為目的。

用于解決課題的手段

為了解決上述課題，作為本發明的一個方案的位置調整機構，該位置調整機構對被收容在底座的內部且驅動物體的促動器的位置進行調整，其中，具有連接部、驅動機構和保持部件，所述連接部由第1結合部可釋放地固定在所述促動器的一個端部，與所述物體連接，所述驅動機構被固定在所述促動器的另一個端部，使該促動器的位置移動，所述保持部件由第2結合部可釋放地保持所述驅動機構，在所述驅動機構從所述保持部件被釋放且所述連接部從所述一個端部被釋放的狀態下，所述驅動機構在規定方向調節所述促動器的位置。

發明的效果

根據本發明，可以提供一種例如使壓電促動器的調整作業容易的位置調整機構。

附圖說明

圖1A、圖1B是用于說明第1實施方式的示意剖視圖。

圖2A、圖2B是用于說明第2實施方式的示意剖視圖。

圖3A、圖3B是用于說明第3實施方式的示意剖視圖。

圖4是用于說明第3實施方式的示意剖視圖。