[發(fā)明專利]一種水溶性晶片粘接劑

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710439400.6
• 申請(qǐng)日: 2017-06-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107418473B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡吉海;石自彬;羅夏林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二十六研究所
• 主分類(lèi)號(hào): C09J105/00
• 分類(lèi)號(hào): C09J105/00;C09J11/04;C09J11/06;H01L41/337
• 代理公司: 重慶博凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 50212
• 代理人: 李海華

本發(fā)明公開(kāi)了一種水溶性晶片粘接劑，由如下質(zhì)量份的四種組份構(gòu)成，阿拉伯樹(shù)膠100；純水160?185；鋁礬15?30；甘油15?25。制備方法為：a）稱取與阿拉伯樹(shù)膠質(zhì)量相當(dāng)?shù)募兯⒓訜岬?0℃以上，然后加入粉狀的阿拉伯樹(shù)膠進(jìn)行混合，攪拌均勻形成凝膠狀阿拉伯膠；b）將鋁礬和剩下的純水混合以配置成鋁礬溶液；c）將鋁礬溶液與凝膠狀阿拉伯膠混合均勻；d）最后將甘油倒入步驟c）得到的混合液中，攪拌均勻即得到水溶性粘接劑。本發(fā)明水溶性膠粘劑能夠代替目前使用的石蠟，能在常溫下粘接和固化，應(yīng)力小，清洗簡(jiǎn)單、環(huán)保、成本低。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及粘接劑，具體涉及制備聲表面波器件用單面拋光襯底片用的水溶性晶片粘接劑，屬于晶體材料加工領(lǐng)域。

背景技術(shù)

聲表面波（SAW）濾波器以設(shè)計(jì)靈活、極佳的通帶選擇性、極小的帶內(nèi)畸變、群延遲時(shí)間偏差小和頻率相位線性度優(yōu)良、輸入輸出阻抗變換容易、抗電磁干擾性能好、可靠性高、實(shí)時(shí)信號(hào)處理能力以及可小型化和片式化制造等特點(diǎn)，成為移動(dòng)通訊的核心器件。石英（SiO₂）、鈮酸鋰（LT）、鉭酸鋰（LT）、硅酸鎵鑭（LGS）、鉭酸鎵鑭（LGT）等壓電單晶，需要加工成單面拋光片作為制作SAW器件的襯底片，襯底片要求成本低、面型質(zhì)量（翹曲度、TTV等指標(biāo)）好、表面物質(zhì)殘留少等。晶片平面度誤差直接影響光刻系統(tǒng)的聚焦，粗糙度影響刻線尺寸與精度，缺陷數(shù)量和深度將影響元件的集成度和可靠性。特別是隨著現(xiàn)代電子元器件日益嚴(yán)格的要求，聲表面波器件廠家對(duì)壓電襯底片的精度和表面質(zhì)量的要求越來(lái)越高。因此低成本、產(chǎn)業(yè)化的超精密晶片加工技術(shù)研究迫在眉睫。

現(xiàn)有晶片加工時(shí)，先將兩片晶片非加工面通過(guò)石蠟粘接在一起，然后放置在加工設(shè)備中進(jìn)行磨拋加工，加工時(shí)先加工其中一個(gè)晶片的加工面，然后再加工另一晶片的加工面。石蠟這種粘結(jié)材料存在以下幾個(gè)明顯的缺陷：

1、石蠟需加熱融化后和晶片粘接，兩晶片分離時(shí)也需要加熱石蠟，因熱膨脹系數(shù)的不同，會(huì)造成晶片從夾具取下來(lái)后變形，造成晶片的翹曲度較大，4英寸晶片如果不采用化學(xué)腐蝕方法控制，數(shù)值會(huì)超出100μm。

2、由于粘接的石蠟厚度偏差在10μm左右，存在的粘接誤差以及夾具和加工盤(pán)的精度問(wèn)題，會(huì)造成晶片塌邊，產(chǎn)品TTV指標(biāo)在20μm左右。采用國(guó)外設(shè)備及夾具和輔料，TTV指標(biāo)能達(dá)到10μm以內(nèi)，但設(shè)備、輔料昂貴，成本較高。

3、通過(guò)石蠟粘接的晶片分離后需要對(duì)石蠟進(jìn)行清洗，而石蠟的清洗成本較高，清洗石蠟通常有兩種清洗劑，汽油清洗石蠟會(huì)造成鉛殘留，硫酸加重鉻酸鉀也嚴(yán)重污染環(huán)境。如果采用專用的去蠟劑，生產(chǎn)成本又會(huì)增高；同時(shí)殘留石蠟也易對(duì)鍍膜設(shè)備腔體造成污染。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足，本發(fā)明的目的是提供一種水溶性膠粘劑，能夠代替目前使用的石蠟，能在常溫下粘接和固化，應(yīng)力小，清洗簡(jiǎn)單、環(huán)保、成本低。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下：

一種水溶性晶片粘接劑，由如下質(zhì)量份的四種組份構(gòu)成，阿拉伯樹(shù)膠100；純水160-185；鋁礬15-30；甘油15-25。

優(yōu)選質(zhì)量份為，阿拉伯樹(shù)膠100；純水175-184；鋁礬16-25；甘油18-22。

上述粘接劑按如下方法制備得到：

a）稱取與阿拉伯樹(shù)膠質(zhì)量相當(dāng)?shù)募兯⒓訜岬?0℃以上，然后加入粉狀的阿拉伯樹(shù)膠進(jìn)行混合，攪拌均勻形成凝膠狀阿拉伯膠；

b）將鋁礬和剩下的純水混合以配置成鋁礬溶液；

c）將鋁礬溶液與凝膠狀阿拉伯膠混合均勻；

d）最后將甘油倒入步驟c）得到的混合液中，攪拌均勻即得到水溶性粘接劑。

相比現(xiàn)有粘接劑石蠟，本發(fā)明具有如下有益效果：