[發(fā)明專利]一種光學(xué)檢測(cè)裝置及光學(xué)檢測(cè)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710439179.4
• 申請(qǐng)日: 2017-06-12
• 公開（公告）號(hào): CN107389696B
• 公開（公告）日: 2023-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顏圣佑;朱志飛;郭連俊;許玉佩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州精瀨光電有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/95
• 分類號(hào): G01N21/95
• 代理公司: 武漢開元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 42104
• 代理人: 黃行軍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光學(xué)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體地指一種光學(xué)檢測(cè)裝置及光學(xué)檢測(cè)方法。

背景技術(shù)

AOI(Automatic Optic Inspection，自動(dòng)光學(xué)檢測(cè))是基于光學(xué)原理來對(duì)制造業(yè)生產(chǎn)中遇到的常見缺陷進(jìn)行檢測(cè)的技術(shù)。在液晶面板制造業(yè)中，可利用AOI設(shè)備對(duì)Panel(面板)進(jìn)行檢測(cè)。在檢測(cè)時(shí)，先將顯示面板放置在檢測(cè)機(jī)載臺(tái)上進(jìn)行對(duì)位，對(duì)位完成后然后圖像攝取單元沿顯示面板的X軸向或是Y軸向?qū)︼@示面板進(jìn)行圖像信息采集，電腦對(duì)原始照片進(jìn)行圖像處理，然后對(duì)處理后的圖像進(jìn)行圖像分割，分離出目標(biāo)。再將目標(biāo)與缺陷參數(shù)(Defect Spec)(包括Size(尺寸)、Length(長(zhǎng)度)、Contrast(對(duì)比度)、SEMU(塞穆指標(biāo)))等進(jìn)行對(duì)比。符合缺陷參數(shù)要求的目標(biāo)會(huì)被AOI設(shè)備檢出，被認(rèn)為是缺陷。

現(xiàn)有技術(shù)的顯示面板通常為方形結(jié)構(gòu)，顯示面板在檢測(cè)機(jī)載臺(tái)上對(duì)位通常是使顯示面板長(zhǎng)度方向和寬度方向上的兩條中軸線沿X軸向或是Y軸向布置，即顯示面板的兩條中軸線與圖像攝取單元的運(yùn)動(dòng)方向平行或是垂直。這樣采集到的圖像信息通常情況下會(huì)出現(xiàn)一些問題，由于顯示面板上的制程異常通常都是與顯示面板的中軸線平行或是垂直，成一排排或是一列列的方式排列，圖像攝取單元在運(yùn)行過程中，由于機(jī)械運(yùn)動(dòng)和圖像攝取單元本身的光學(xué)噪聲會(huì)在最后的圖像信息上顯示出來。顯示面板中軸線方向與圖像攝取單元運(yùn)動(dòng)方向一致，實(shí)際上就可能出現(xiàn)制程異常與圖像攝取單元產(chǎn)生的光學(xué)噪聲在最后得到的圖像信息上重合，制程異常和光學(xué)噪聲異常重合在一起，工作人員無法分別這部分異常是制程異常還是由于光學(xué)噪聲造成的異常，無法對(duì)后續(xù)的補(bǔ)救工作產(chǎn)生指導(dǎo)效應(yīng)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的就是要解決上述背景技術(shù)提到的現(xiàn)有的光學(xué)檢測(cè)技術(shù)可能無法分別制程異常和光學(xué)噪聲異常造成誤判或是漏檢的問題，提供一種光學(xué)檢測(cè)裝置及光學(xué)檢測(cè)方法。

本發(fā)明的技術(shù)方案為：一種光學(xué)檢測(cè)裝置，包括用于承載顯示面板的面板載臺(tái)和采集顯示面板圖像信息的圖像攝取單元；所述的圖像攝取單元懸置于面板載臺(tái)上方，可沿平行顯示面板的方向行進(jìn)對(duì)顯示面板進(jìn)行掃描，其特征在于：所述的面板載臺(tái)上設(shè)置有可驅(qū)動(dòng)面板載臺(tái)旋轉(zhuǎn)使承載于面板載臺(tái)上的顯示面板轉(zhuǎn)動(dòng)一預(yù)設(shè)角度的旋轉(zhuǎn)控制單元；所述的預(yù)設(shè)角度與圖像攝取單元的行進(jìn)掃描方向和轉(zhuǎn)動(dòng)后的顯示面板的中軸線之間的夾角相等。

進(jìn)一步的所述的旋轉(zhuǎn)控制單元包括驅(qū)動(dòng)面板載臺(tái)旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)顯示面板繞垂直顯示面板的法線轉(zhuǎn)動(dòng)預(yù)設(shè)角度的旋轉(zhuǎn)裝置。

進(jìn)一步的所述的法線垂直穿過顯示面板的縱向中軸線和橫向中軸線的交點(diǎn)。

進(jìn)一步的所述的旋轉(zhuǎn)裝置包括安裝在面板載臺(tái)上的電動(dòng)馬達(dá)。

進(jìn)一步的所述的預(yù)設(shè)角度為5～10°。

一種光學(xué)檢測(cè)方法，用于檢測(cè)顯示面板，其特征在于：所述的檢測(cè)方法包括以下步驟：

1)、提供一顯示面板的光學(xué)檢測(cè)裝置，將顯示面板放置在該檢測(cè)裝置的面板載臺(tái)上；

2)、驅(qū)動(dòng)該面板載臺(tái)帶動(dòng)該顯示面板旋轉(zhuǎn)，使得該顯示面板的中軸線與該檢測(cè)裝置的圖像攝取單元的掃描方向呈一預(yù)設(shè)角度；

3)對(duì)顯示面板進(jìn)行掃描，獲得顯示面板的圖像信息；

4)、分析經(jīng)演算處理過的圖像信息，若圖像信息中存在與顯示面板中軸線平行或垂直的異常，則為面板生產(chǎn)異常造成；若圖像信息中存在與圖像攝取單元掃描方向平行的異常則為該光學(xué)檢測(cè)裝置的光學(xué)噪聲造成。

進(jìn)一步的所述的步驟1)中，將顯示面板放置在該檢測(cè)裝置的面板載臺(tái)上的方法為：將顯示面板放置于面板載臺(tái)上，使顯示面板的中軸線與圖像攝取單元的行進(jìn)掃描方向平行或是垂直。

進(jìn)一步的所述光學(xué)檢測(cè)裝置的面板載臺(tái)上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)控制單元，所述旋轉(zhuǎn)控制單元用于驅(qū)動(dòng)所述面板載臺(tái)帶動(dòng)所述顯示面板旋轉(zhuǎn)。

進(jìn)一步的所述顯示面板圍繞自身法線旋轉(zhuǎn)，所述法線垂直穿過所述顯示面板的縱向中軸線和橫向中軸線的交點(diǎn)。

進(jìn)一步的所述預(yù)設(shè)角度為5～10°。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)有：1、檢測(cè)出來的信息能夠快速的將制程異常和光學(xué)噪聲異常區(qū)分開來，能夠明確異常的原因，對(duì)后續(xù)的補(bǔ)救措施具有良好的指導(dǎo)意義；

2、特別適用于對(duì)于某些有跟X軸或Y軸有因制程改善需求需調(diào)整些微角度的監(jiān)測(cè)；

3、可為光學(xué)檢測(cè)機(jī)提供大量監(jiān)控及實(shí)時(shí)回饋問題，減少人員誤判漏判風(fēng)險(xiǎn)。

本發(fā)明的光學(xué)檢測(cè)方法簡(jiǎn)單、準(zhǔn)確，能夠快速的將制程異常和光學(xué)噪聲造成的異常等區(qū)分開來，為后續(xù)工作提供了有效的指導(dǎo)，具有極大的推廣價(jià)值。

附圖說明

圖1：對(duì)位時(shí)的檢測(cè)機(jī)載臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖；