[發明專利]一種TFT?LCD顯示用顯影液

在審

• 申請號: 201710436615.2
• 申請日: 2017-06-12
• 公開（公告）號: CN107121898A
• 公開（公告）日: 2017-09-01
• 發明（設計）人: 白航空
• 申請（專利權）人: 合肥市惠科精密模具有限公司
• 主分類號: G03F7/32
• 分類號: G03F7/32
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種TFT-LCD顯示用顯影液，其特征在于，所述顯影液由以下重量份數的組分構成：堿性化合物22-26份、非離子表面活性劑7-14份、滲透劑9-15份和去離子水42-54份。

2.根據權利要求1所述的一種TFT-LCD顯示用顯影液，其特征在于：所述堿性化合物為無機堿性化合物或有機堿性化合物；其中，無機堿性化合物為：堿金屬的氫氧化物、碳酸氫鹽、碳酸鹽中的一種或幾種；有機堿性化合物為：單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、單乙醇二甲基胺中的一種或幾種。

3.根據權利要求1所述的一種TFT-LCD顯示用顯影液，其特征在于：所述非離子表面活性劑選自椰子油脂肪酸單乙醇酰胺、椰子油脂肪酸二乙醇酰胺、蓖麻油聚氧乙烯醚和蓖麻油聚氧乙烯醚中的至少一種。

4.根據權利要求1所述的一種TFT-LCD顯示用顯影液，其特征在于：所述滲透劑為聚氧乙烯醚類滲透劑中的聚氧乙烷和高級脂肪醇的縮合物或磷酸酯。

5.根據權利要求1所述的一種TFT-LCD顯示用顯影液，其特征在于：所述去離子水是經過離子交換樹脂過濾的水，其電阻至少是18MΩ。

6.根據權利要求1所述的一種TFT-LCD顯示用顯影液，其特征在于：所述所述去離子水中，總金屬離子濃度不大于4000納克/L，優選不大于500納克/L，更優選不大于50納克/L。