[發明專利]鉑金通道流量控制系統

有效

• 申請號: 201710434629.0
• 申請日: 2017-06-09
• 公開（公告）號: CN107056018B
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 田紅星;鄭權
• 申請（專利權）人: 東旭光電科技股份有限公司
• 主分類號: C03B5/18
• 分類號: C03B5/18
• 代理公司: 北京英創嘉友知識產權代理事務所(普通合伙) 11447
• 代理人: 陳慶超;桑傳標

本公開涉及一種鉑金通道流量控制系統，包括鉑金通道(10)，用于調節所述鉑金通道內的玻璃液流量的加熱調節回路，以及用于輔助調節鉑金通道(10)內的玻璃液流量的散熱裝置(20)。本公開提供的流量控制系統除了包括傳統的用于調節鉑金通道內的玻璃液流量的加熱調節回路之外，還包括散熱裝置，以對玻璃液流量實現輔助調節。即，通過散熱裝置對玻璃液進行降溫，從而實現輔助調節玻璃液的流量。這樣，本公開提供的流量控制系統可以在不增加加熱調節回路的個數和通道長度的情況下，就能提高加熱調節回路的電加熱功率，從而提高加熱調節回路對玻璃液流量控制能力，使得玻璃液流量波動范圍更小，產品厚度差和應力更小，提高了玻璃基板的產品品質。

技術領域

本公開涉及玻璃基板制造設備領域，具體地，涉及一種鉑金通道流量控制系統。

背景技術

在TFT、LTPS玻璃基板制造過程中，窯爐工序將配合料熔解成玻璃液后到達鉑金通道工序進行澄清和均化，玻璃液經過鉑金通道工序后送到成型工序被制成玻璃板半成品，半成品經過加工后制成成品，然后完成包裝運輸即可送到面板廠家進行使用。

面板廠家隨著面板顯示精度和市場對超薄產品的追求越來越高，反過來對玻璃板產品的厚度、厚度極差和應力要求原來越高，從要求的厚度為 0.7mm、厚度極差為0.020mm、應力為150psi，向厚度為0.5mm和0.3mm，厚度極差為0.016mm、0.012mm、0.008mm，應力為120psi、100psi、80psi 方向發展，甚至有的面板廠家對上述三個產品指標提出了更高的要求。我們知道隨著產品厚度要求越來越薄，厚度極差和應力控制越來越難，并且厚度極差和應力要求越來越嚴格，更是對現有玻璃板生產提出了嚴峻的要求。

經過對玻璃基板產品制程分析，影響上述三個指標的原因有從鉑金通道供向成型工序的玻璃液流量穩定性，玻璃液流量穩定程度越高和波動程度越小，產品厚度、厚度級差和應力波動性越好。

目前在玻璃基板產品制程中，玻璃液流量控制主要有鉑金通道工序來完成，鉑金通道流量控制回路主要使用直接電加熱方式。通過對鉑金通道管壁直接加熱到1200℃以上，將鉑金管壁產生的熱量直接傳導給流經鉑金管內部的玻璃液，將玻璃液加熱到玻璃基板制程所需的溫度。玻璃液在鉑金通道流量控制回路的鉑金管內部流動時，通過改變鉑金管的加熱功率和溫度從而改變被加熱的玻璃液的黏度，從而影響玻璃液在鉑金管內部的流速，達到調整玻璃液流量的目的。

玻璃液在鉑金管內部流動時，由于玻璃液的成分不穩定或其他原因，會產生玻璃液黏度的變化，當玻璃液黏度變小的時候，玻璃液流量就會變大，需要降低鉑金通道流量控制回路的功率來保證玻璃液流量達到我們的要求，在玻璃液流量變大的過程中，玻璃液從窯爐中帶來的熱量會增加，這樣更需要更多地降低鉑金通道流量控制回路的功率，如果操作人員沒能及時參與流量控制，這種作用會更加放大，玻璃液流量會持續增加，熱量增量會持續增加，當鉑金通道流量控制回路的功率無法抵消玻璃液帶來的熱量增量時，鉑金通道流量控制回路就會失效，玻璃液會不可控制的流向成型工序，造成成型和鉑金通道設備損壞。當發生玻璃液流量變化超出工藝控制范圍時，就需要使用較大的電功率的鉑金通道流量控制回路，來抵消玻璃液帶來的熱量變化，將玻璃液流量控制在工藝要求范圍之內。

在高端玻璃制程中，通道設備主要是由貴金屬鉑金及其合金制作，在鉑金通道流量控制回路中，由于貴金屬用量的問題，參與流量控制的回路較少，一般在3-6個回路，鉑金管外側有保溫材料對鉑金通道進行保溫，在鉑金通道投入運行后，流量控制回路電功率較低，按照流量為300kg/h的鉑金通道來講，為了增加鉑金通道流量控制回路對玻璃液流量控制的穩定性，期望的鉑金通道流量控制回路電功率不得低于30kw，然而很多產線的電功率在 20KW以下，這樣對玻璃液流量的控制能力就會降低，特別是在其他原因造成玻璃液特性發生波動的時候，鉑金通道流量控制回路的電功率如果不夠使用會帶來流量失控的危險，這對于整個玻璃板制程設備來講是致命的傷害。