[發明專利]能夠供電至陽極的供電體及鍍覆裝置有效
| 申請號: | 201710433535.1 | 申請日: | 2017-06-09 |
| 公開(公告)號: | CN107488869B | 公開(公告)日: | 2021-03-02 |
| 發明(設計)人: | 藤方淳平 | 申請(專利權)人: | 株式會社荏原制作所 |
| 主分類號: | C25D17/12 | 分類號: | C25D17/12 |
| 代理公司: | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人: | 陳偉;沈靜 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 能夠 供電 至陽 鍍覆 裝置 | ||
1.一種供電體,能夠供電至在對基板進行鍍覆時使用的溶解陽極,其特征在于,具有:
主體部,其能夠配置在所述溶解陽極的外周;
加力構件,其配置在所述主體部,能夠在從所述主體部朝向所述主體部所包圍的區域的方向上對所述主體部施加第1力;和
能夠配置在所述溶解陽極的外周的導電體,
所述主體部能夠配置在所述導電體的外周。
2.根據權利要求1所述的供電體,其特征在于,
所述加力構件具有端部構件,該端部構件配置在所述區域的外周方向上的所述主體部的兩個端部中的至少一個端部上,所述端部構件能夠以使所述兩個端部相互接近的方式對所述兩個端部施加第2力,通過對所述兩個端部施加所述第2力,能夠對所述主體部施加所述第1力。
3.根據權利要求1或2所述的供電體,其特征在于,
在所述溶解陽極的厚度方向上的所述主體部的寬度小于所述溶解陽極的厚度。
4.一種鍍覆裝置,其特征在于,具有:
能夠收容鍍覆液的鍍覆槽;
能夠配置所述溶解陽極的、權利要求1或2所述的供電體;
能夠保持所述基板的基板保持具;和
能夠在所述供電體及所述基板之間通電的鍍覆電源,
所述鍍覆裝置能夠使所述基板保持具浸漬在所述鍍覆液中來對所述基板進行鍍覆。
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