[發明專利]制造研磨墊的研磨層的方法及設備

有效

• 申請號: 201710432462.4
• 申請日: 2013-04-05
• 公開（公告）號: CN107030595B
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發明（設計）人: R·巴賈杰;B·L·欽;T·Y·李
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: B24B37/26
• 分類號: B24B37/26;B24D18/00;B33Y80/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖

1.一種制造研磨墊的研磨層的方法，所述方法包括以下步驟：

使用3D液滴噴出式印刷機相繼地沉積多個層以形成所述研磨墊的至少所述研磨層，通過從所述3D液滴噴出式印刷機的噴嘴噴出墊材料前驅物的液滴、且固化所述墊材料前驅物以形成固化的墊材料的方式來沉積所述多個層的每一層，其中固化所述墊材料前驅物的步驟包括硬化所述墊材料前驅物，且其中通過所述噴嘴將所述墊材料前驅物的液滴噴射在支座上來沉積第一層以及通過所述噴嘴將所述墊材料前驅物的液滴噴射在已固化的墊材料上來沉積每一后續沉積層；以及

從所述支座卸除所述研磨層。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述多個層的每一層的厚度小于所述研磨層的總厚度的50％。

3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述多個層的每一層的厚度小于所述研磨層的總厚度的1％。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，包括通過在計算機上執行的3D繪圖程序控制所述墊材料前驅物的射出以在所述多個層的至少一些層中形成圖案的方式來在所述研磨層中形成凹槽。

5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，硬化所述墊材料前驅物的步驟包括紫外線(UV)硬化。

6.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述墊材料前驅物包括胺甲酸乙酯單體。

7.如權利要求1所述的方法，其特征在于，進一步包括：

使用所述3D液滴噴出式印刷機相繼地沉積多個層以形成所述研磨墊的背托層，其中由所述3D液滴噴出式印刷機以不間斷的操作方式制造所述背托層和研磨層。

8.一種制造研磨墊的研磨層的設備，包括：

支座，所述支座用于支持所述研磨墊的所述研磨層，其中所述支座被配置成從所述支座卸除所述研磨層墊材料；

3D液滴噴出式印刷機，所述3D液滴噴出式印刷機被配置成相繼地沉積多個層以形成所述研磨墊的至少所述研磨層，所述3D液滴噴出式印刷機包括噴嘴并且配置成通過從所述噴嘴噴出墊材料前驅物的液滴、且固化所述墊材料前驅物以形成固化的墊材料的方式來沉積所述多個層的每一層，其中通過所述噴嘴將所述墊材料前驅物的液滴噴射在支座上來沉積第一層以及通過所述噴嘴將所述墊材料前驅物的液滴噴射在已固化的墊材料上來沉積每一后續沉積層；以及

UV輻射，所述UV輻射用于硬化所述墊材料前驅物以固化所述墊材料前驅物。

9.如權利要求8所述的設備，其特征在于，所述多個層的每一層的厚度小于所述研磨層的總厚度的50％。

10.如權利要求9所述的設備，其特征在于，所述多個層的每一層的厚度小于所述研磨層的總厚度的1％。

11.如權利要求8所述的設備，其特征在于，包括具有3D繪圖程序的計算機，所述3D繪圖程序配置成控制所述3D液滴噴出式印刷機通過控制所述墊材料前驅物的射出以在所述多個層的至少一些層中形成圖案的方式來在所述研磨層中形成凹槽。

12.如權利要求8所述的設備，其特征在于，所述噴嘴配置成平移而橫越所述支座。

13.如權利要求8所述的設備，其特征在于，所述墊材料前驅物包括胺甲酸乙酯單體。

14.如權利要求8所述的設備，其特征在于，所述3D液滴噴出式印刷機被配置成相繼地沉積多個層以形成所述研磨墊的背托層，其中由所述3D液滴噴出式印刷機以不間斷的操作方式制造所述背托層和研磨層。