[發明專利]采用磁控濺射和離子注入結合的制備生物傳感材料的方法有效
| 申請號： | 201710429218.2 | 申請日： | 2017-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN109023270B | 公開（公告）日： | 2020-08-11 |
| 發明（設計）人： | 楊加志;李文萍;陳春濤;劉曉慧 | 申請（專利權）人： | 南京理工大學 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/48 |
| 代理公司： | 南京理工大學專利中心 32203 | 代理人： | 薛云燕 |
| 地址： | 210094 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 采用 磁控濺射 離子 注入 結合 制備 生物 傳感 材料 方法 | ||
1.一種采用磁控濺射和離子注入結合的制備生物傳感材料的方法，其特征在于，具體步驟如下：
步驟1，玻璃基底和靶材ITO的預處理：制取玻璃基底備用，對玻璃基底和靶材ITO分別進行清洗；
步驟2，將預處理好的玻璃基底和靶材ITO放入磁控濺射鍍膜機，采用射頻濺射靶在氬氣氣氛中，依次控制磁控濺射時間、功率、壓強，將靶材ITO鍍膜至玻璃基底表面并作為離子注入基底；所述磁控濺射時間為30s～180s；磁控濺射功率為20W～80W；磁控濺射壓強為5Pa～20Pa；
步驟3，將離子注入基底依次用砂子打磨并拋光，再用丙酮、無水乙醇超聲波清洗后干燥備用；
步驟4，采用離子注入機進行Pt離子注入，控制注入角度、真空度、加速電壓和劑量，最終得到生物傳感材料；所述Pt離子注入的注入角度為45°，注入時真空度為1.5×10-3Pa，注入加速電壓為10kV～30kV，注入劑量為1×106icons/cm2或1×1016icons/cm2。
2.根據權利要求1所述的采用磁控濺射和離子注入結合的制備生物傳感材料的方法，其特征在于，步驟1所述對玻璃基底和靶材ITO分別進行清洗，具體為：所述的玻璃基底和靶材ITO分別依次用丙酮和95％的乙醇溶液擦拭2-3次，最后用氮氣吹干。
3.根據權利要求1所述的采用磁控濺射和離子注入結合的制備生物傳感材料的方法，其特征在于，步驟2所述的磁控濺射時間為60s。
4.根據權利要求1所述的采用磁控濺射和離子注入結合的制備生物傳感材料的方法，其特征在于，步驟2所述的磁控濺射功率為40W。
5.根據權利要求1所述的采用磁控濺射和離子注入結合的制備生物傳感材料的方法，其特征在于，步驟2所述的磁控濺射壓強為15Pa。
6.根據權利要求1所述的采用磁控濺射和離子注入結合的制備生物傳感材料的方法，其特征在于，步驟4中所述的注入加速電壓為30kV。
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