[發明專利]臺階儀及探針檢測裝置

有效

• 申請號: 201710428289.0
• 申請日: 2017-06-08
• 公開（公告）號: CN107192353B
• 公開（公告）日: 2019-07-30
• 發明（設計）人: 薛金祥;孫中元
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G01B11/245
• 分類號: G01B11/245
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 王輝;闞梓瑄

1.一種探針檢測裝置，應用于臺階儀，所述臺階儀包括探頭和連接于所述探頭的探針，其特征在于，所述探針檢測裝置包括：

安裝環，連接于所述探頭并環繞所述探針設置；

激光發射單元，設于所述安裝環的內壁，用于向預設方向發射激光；

第一激光接收單元，設于所述安裝環內壁，用于接收照射在所述探針而反射的激光并據以產生電信號；

處理組件，用于根據所述電信號確定一偏差值，且在所述偏差值大于第一預定值時，控制所述臺階儀停止；

所述第一激光接收單元包括環繞所述激光發射單元設置的N個光敏元件，且N個所述光敏元件用于輸出N個所述電信號；其中，N≥2；

所述處理組件用于根據N個所述電信號確定所述偏差值。

2.根據權利要求1所述的探針檢測裝置，其特征在于，所述處理組件包括：

模數轉換器，與所述第一激光接收單元連接，用于將N個所述電信號轉換為N個數字信號；

計算單元，與所述模數轉換器連接，用于根據N個所述數字信號中最大的n個值與最小的n個值確定所述偏差值；其中，n≤N/2。

3.根據權利要求1所述的探針檢測裝置，其特征在于，所述光敏元件的數量為四個，且所述光敏元件均為方形。

4.根據權利要求3所述的探針檢測裝置，其特征在于，所述光敏元件為硅光電池。

5.根據權利要求1所述的探針檢測裝置，其特征在于，所述激光發射單元和所述第一激光接收單元集成于一激光收發器，所述處理組件用于根據所述激光收發器輸出的所述電信號確定所述偏差值。

6.根據權利要求5所述的探針檢測裝置，其特征在于，所述處理組件包括：

模數轉換器，與所述激光收發器連接，用于將所述電信號轉換為數字信號；

計算單元，與所述模數轉換器連接，用于根據所述數字信號與第二預定值確定所述偏差值。

7.根據權利要求1～6任一項所述的探針檢測裝置，其特征在于，所述探針檢測裝置還包括：

第二激光接收單元，設于所述安裝環的內壁，并與所述激光發射單元正對設置，用于在接收到所述激光發射單元發出的激光時輸出電信號；

所述處理組件用于在接收到所述第二激光接收單元發出的所述電信號時，控制所述臺階儀停止。

8.根據權利要求1所述的探針檢測裝置，其特征在于，所述探針檢測裝置還包括：

圖像采集組件，可轉動地設于所述探頭，用于獲取所述探針端部的圖像；

照明組件，可轉動地設于所述探頭，且與所述圖像采集組件分居所述安裝環的兩側，用于為所述圖像采集組件提供照明。

9.一種臺階儀，其特征在于，包括：

探頭；

探針，連接于所述探頭；以及

權利要求1～8任一項所述的探針檢測裝置。