[發明專利]一種HBAR諧振器及可調諧微波振蕩器

在審

• 申請號: 201710420053.2
• 申請日: 2017-06-06
• 公開（公告）號: CN107221733A
• 公開（公告）日: 2017-09-29
• 發明（設計）人: 閆波;劉夢偉;王文;宮俊杰
• 申請（專利權）人: 中國科學院聲學研究所
• 主分類號: H01P7/00
• 分類號: H01P7/00;H03B5/32
• 代理公司: 北京億騰知識產權代理事務所11309
• 代理人: 陳霽

1.一種HBAR諧振器，其特征在于，主要由頂電極(10)、壓電薄膜(11)和底電極(12)組成的夾心換能器結構(110)和其下的基底層(13)構成；所述頂電極(10)和底電極(12)采用離子鍍鉻-金膜制備；所述壓電薄膜(11)采用直流磁控濺射ZnO制備；所述基底層(13)采用低損耗的藍寶石。

2.一種可調諧微波振蕩器，其特征在于，包括如權利要求1所述的HBAR諧振器(1)、功率放大器(2)和調諧器(3)；其中，

所述HBAR諧振器(1)，具有高Q值和多模諧振特性，決定環路振蕩頻率；所述功率放大器(2)采用低噪聲系數的元器件組成，用于對信號功率進行放大；所述調諧器(3)，用于篩選目標頻率信號，通過調節所述調諧器(3)，使所述HBAR諧振器(1)工作在不同模式上，以改變可調諧微波振蕩器環路輸出頻率。

3.根據權利要求2所述的可調諧微波振蕩器，其特征在于，所述功率放大器(2)主要由高頻低噪聲三極管(T)和第一電阻(R1)、第二電阻(R2)、第三電阻(R3)、第三電容(C3)、第四電容(C4)構成；所述調諧器(3)主要由第一電容(C1)、第二電容(C2)和電感(L)組成的LC并聯諧振電路構成；所述的HBAR諧振器(1)一端接地，另一端與所述功率放大器(2)連接。

4.按權利要求2所述的可調諧微波振蕩器，其特征在于，該HBAR諧振器(1)具有多模諧振特性，通過調整調諧器(3)改變輸出頻率，調諧方法采用程序控制、電壓控制、開關控制等方法中的任意一種。

5.根據權利要求3所述的可調諧微波振蕩器，其特征在于，所述LC并聯諧振電路計算公式為：其中

6.根據權利要求3所述的可調諧微波振蕩器，其特征在于，所述高頻低噪聲三極管為NEC公司的三極管2SC4226。