[發明專利]一種PERC電池背面鈍化工藝

在審

• 申請號: 201710416638.7
• 申請日: 2017-06-06
• 公開（公告）號: CN106992229A
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發明（設計）人: 閆濤;張冠綸;吳俊旻;常青;扈靜
• 申請（專利權）人: 通威太陽能（合肥）有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/068;H01L31/0216
• 代理公司: 昆明合眾智信知識產權事務所53113
• 代理人: 張璽

1.一種PERC電池背面鈍化工藝，其特征在于，包括制絨，擴散，刻蝕和背面拋光，之后熱風烘干硅片，將硅片180°翻轉使硅片背面向上，臭氧處理使背面形成SiO₂膜，正面氧化處理，背面鍍鈍化膜，正面鍍鈍化膜；所述正面氧化處理為退火處理熱氧化方法形成SiO₂膜。

2.根據權利要求1所述的一種PERC電池背面鈍化工藝，其特征在于，所述將硅片180°翻轉采用翻片機。

3.根據權利要求1所述的一種PERC電池背面鈍化工藝，其特征在于，所述臭氧處理使背面形成SiO₂膜，采用臭氧機，使硅片背面向上經過臭氧機時形成SiO₂膜。

4.根據權利要求1所述的一種PERC電池背面鈍化工藝，其特征在于，所述背面形成SiO₂膜的厚度為1-5nm。

5.根據權利要求1或4所述的一種PERC電池背面鈍化工藝，其特征在于，所述正面形成的SiO₂膜的厚度為2-15nm。

6.根據權利要求5所述的一種PERC電池背面鈍化工藝，其特征在于，所述正面形成的SiO₂膜的厚度為2-8nm。

7.根據權利要求1所述的一種PERC電池背面鈍化工藝，其特征在于，所述背面鍍的鈍化膜為Al₂O₃/SiN_X復合層，所述正面鍍的鈍化膜為SiN_X層。

8.一種PERC電池制備方法，其特征在于，包括權利要求1～7中任一項所述的PERC背面鈍化工藝方法，并激光開槽，絲網印刷，燒結。

9.一種PERC電池，其特征在于，所述PERC電池由權利要求8的PERC電池制備方法制備而得。

10.根據權利要求9所述的一種PERC電池，其特征在于，所述PERC電池包括具有PN結的硅片層，以及依次設置于硅片層背面的SiO₂膜層、Al₂O₃、SiN_X層和背面電極，硅片層正面依次設置SiO₂膜層、SiN_X層和正面電極，所述背面設置的SiO₂膜層的厚度為1-5nm。