[發(fā)明專(zhuān)利]同軸隨形聚焦系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710411461.1
• 申請(qǐng)日: 2017-06-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107335912B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙猛
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 趙猛
• 主分類(lèi)號(hào): B23K26/04
• 分類(lèi)號(hào): B23K26/04;B23K26/046
• 代理公司: 長(zhǎng)春菁華專(zhuān)利商標(biāo)代理事務(wù)所(普通合伙) 22210
• 代理人: 陶尊新

1.同軸隨形聚焦系統(tǒng)，其特征在于，包括：

擴(kuò)束裝置(1)，平行入射光束由所述擴(kuò)束裝置(1)的入光端進(jìn)入所述擴(kuò)束裝置(1)，并產(chǎn)生發(fā)散光束；

分束器(3)，所述分束器(3)置于所述擴(kuò)束裝置(1)的出光端，所述發(fā)散光束穿過(guò)所述分束器(3)；

聚束裝置(2)，所述聚束裝置(2)置于所述分束器(3)的出光端，且所述聚束裝置(2)與所述擴(kuò)束裝置(1)同軸設(shè)置，所述發(fā)散光束由所述聚束裝置(2)的入光端進(jìn)入所述聚束裝置(2)，并產(chǎn)生匯聚光束(5)，所述匯聚光束(5)的焦點(diǎn)處于工件(7)表面前后，被所述匯聚光束(5)照亮的所述工件(7)表面產(chǎn)生反向傳輸?shù)纳⑸涔?6)，光電探測(cè)器(8)接收被所述分束器(3)反射的所述散射光(6)；

伺服機(jī)構(gòu)(4)，所述擴(kuò)束裝置(1)、所述分束器(3)和所述光電探測(cè)器(8)固定于所述伺服機(jī)構(gòu)(4)上，且所述伺服機(jī)構(gòu)(4)受控于閉環(huán)控制電路(9)；

閉環(huán)控制電路(9)，所述光電探測(cè)器(8)接收到的所述散射光(6)的光強(qiáng)信號(hào)送至所述閉環(huán)控制電路(9)，所述閉環(huán)控制電路(9)根據(jù)所述光強(qiáng)信號(hào)解算出聚焦?fàn)顟B(tài)誤差值，并驅(qū)動(dòng)所述伺服機(jī)構(gòu)(4)補(bǔ)償聚焦?fàn)顟B(tài)誤差值；

所述伺服機(jī)構(gòu)(4)帶動(dòng)所述擴(kuò)束裝置(1)、分束器(3)、光電探測(cè)器(8)沿所述擴(kuò)束裝置(1)和聚束裝置(2)的軸線方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)；

所述散射光(6)穿過(guò)所述聚束裝置(2)，并通過(guò)所述分束器(3)部分反射于所述光電探測(cè)器(8)表面，所述閉環(huán)控制電路(9)根據(jù)所述光電探測(cè)器(8)接收的散射光(6)的光強(qiáng)信號(hào)驅(qū)動(dòng)所述伺服機(jī)構(gòu)(4)補(bǔ)償聚焦?fàn)顟B(tài)偏離的誤差值；

所述光電探測(cè)器(8)接收散射光(6)的一面至少設(shè)置有兩個(gè)光敏面(10)，且相鄰兩個(gè)所述光敏面(10)之間具有縫隙。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同軸隨形聚焦系統(tǒng)，其特征在于，所述伺服機(jī)構(gòu)(4)使用伺服電機(jī)或步進(jìn)電機(jī)或音圈電機(jī)作為動(dòng)作器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的同軸隨形聚焦系統(tǒng)，其特征在于，所述伺服機(jī)構(gòu)(4)上安裝有位置傳感器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同軸隨形聚焦系統(tǒng)，其特征在于，所述光電探測(cè)器(8)為CCD或PIN光電探測(cè)器或硅光電池或PSD或光電二極管。