[發明專利]基于石墨烯?二硫化鉬異質結的帶可調諧光柵的M?Z電光調制器

在審

• 申請號: 201710409585.6
• 申請日: 2017-06-02
• 公開（公告）號: CN107037613A
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發明（設計）人: 陸榮國;張向秀;劉天良;杜瑋;楊忠華;田朝輝;劉永
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: G02F1/035
• 分類號: G02F1/035;G02F1/03
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產權代理有限公司51230
• 代理人: 徐金瓊,劉東

1.一種基于石墨烯-二硫化鉬異質結的帶可調諧光柵的M-Z電光調制器，其特征在于：包括襯底層(1)、嵌設在襯底層(1)內依次相連接的輸入輸出可調諧光柵(2)、輸入輸出直光波導(3)、S彎曲型Y分支波導(4)和兩臂直光波導(5)，所述輸入輸出可調諧光柵(2)、輸入輸出直光波導(3)、S彎曲型Y分支波導(4)和兩臂直光波導(5)的波導上表面與襯底層(1)的上表面在同一平面上，所述兩臂直光波導(5)上設置有第一石墨烯覆蓋層(6)，第一石墨烯覆蓋層(6)包括從下到上依次設置的第二石墨烯層(63)、二硫化鉬(62)和第一石墨烯層(61)，第二石墨烯層(63)上連接的第二電極(65)，第一石墨烯層(61)上連接的第一電極(64)和第三電極(66)，第一電極(64)和第三電極(66)未接觸，所述輸入輸出可調諧光柵(2)設置有第二石墨烯覆蓋層，第二石墨烯覆蓋層包括從下到上依次設置的第四石墨烯層(73)、氮化硼隔離層(72)和第三石墨烯層(71)，設置在第四石墨烯層(73)上的第五電極(75)和設置在第三石墨烯層(71)上的第四電極(74)，第三石墨烯層(71)和第四石墨烯層(73)均為叉指電極結構。

2.根據權利要求1所述的基于石墨烯-二硫化鉬異質結的帶可調諧光柵的M-Z電光調制器，其特征在于：所述第一石墨烯覆蓋層(6)上的第一石墨烯層(61)和第二石墨烯層(63)被二硫化鉬(62)隔開構成異質結。

3.根據權利要求1所述的基于石墨烯-二硫化鉬異質結的帶可調諧光柵的M-Z電光調制器，其特征在于：所述兩臂直光波導(5)包括參考臂(51)和調制臂(52)，所述第一石墨烯層(61)從參考臂(51)和調制臂(52)向外延伸，并分別與參考臂(51)上的第一電極(64)和調制臂(52)第三電極(66)相連接，所述第二石墨烯層(63)覆蓋在參考臂(51)和調制臂(52)上，并與設在參考臂(51)和調制臂(52)中間的第二電極(65)相連接。

4.根據權利要求1所述的基于石墨烯-二硫化鉬異質結的帶可調諧光柵的M-Z電光調制器，其特征在于：輸入輸出可調諧光柵(2)的波導結構為掩埋型波導，第三石墨烯層(71)向外延伸并連接到第四電極(74)，第四石墨烯層(73)向外延伸并連接到第五電極(75)。

5.根據權利要求1所述的基于石墨烯-二硫化鉬異質結的帶可調諧光柵的M-Z電光調制器，其特征在于：所述襯底層(1)的材料為二氧化硅。

6.根據權利要求1所述的基于石墨烯-二硫化鉬異質結的帶可調諧光柵的M-Z電光調制器，其特征在于：所述輸入輸出可調諧光柵(2)、輸入輸出直光波導(3)、S彎曲型Y分支波導(4)和兩臂直光波導(5)的波導材料均為氮化硅。

7.根據權利要求1所述的基于石墨烯-二硫化鉬異質結的帶可調諧光柵的M-Z電光調制器，其特征在于：所述第一電極(64)、第二電極(65)、第三電極(66)、第四電極(74)和第五電極(75)的材質為金、銀、銅、鉑、鈦、鎳、鈷、鈀中的任意一種或者任意兩種以上的合金。