[發明專利]一種恒流二極管設計與制造技術

在審

• 申請號: 201710408610.9
• 申請日: 2017-06-02
• 公開（公告）號: CN107170728A
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發明（設計）人: 李志福
• 申請（專利權）人: 朝陽無線電元件有限責任公司
• 主分類號: H01L23/488
• 分類號: H01L23/488;H01L23/49;H01L21/603
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙)11348
• 代理人: 侯蔚寰

1.一種恒流二極管設計與制造技術，包括杜鎂絲（1）、玻殼（2）和內芯（3）；其特征在于：所述內芯（3）安裝在玻殼（2）的內腔內，且玻殼（2）的兩端口均通過杜鎂絲（1）進行封堵；所述杜鎂絲（1）與玻殼（2）之間通過高溫燒結成一體式結構；所述內芯（3）包括管芯（4）和合金焊片（5）；所述管芯（4）的兩端面均覆有Ti-Ni-Ag金屬層，且管芯（4）的正面設置有Ag材質凸點；兩片所述的合金焊片（5）與管芯（4）之間交替疊放；并通過通過II類冶金鍵合工藝與杜鎂絲（1）燒結在一起；其制造過程主要分以下三步：

第一步：管芯（4）的制造

將P型襯底（11）和N型外延的異型外延片（6）通過氧化、光刻、擴散、蒸發、CVD、電鍍、劃片等一系列工藝制成具有電流調整效應的管芯（4），其中采用隔離區（10）將源極（8）、柵極（9）與硅片背面連接，并且隔離區（10）大面積覆蓋外延片（6），源極（8）跨接隔離區（10）和柵極（9），柵極（9）的深度控制著最終調整電流的大小，成品的管芯（4）最大對角線要求不能大于玻殼（2）的內徑；外延片（6）的中部設置有漏極（7）；

第二步：順序裝配

按照杜鎂絲（1）、玻殼（2）、合金焊片（5）、管芯（4）、合金焊片（5）和杜鎂絲（1）的順序裝配；

第三步：采用II類冶金鍵合工藝進行燒結

對裝配完成的半成品采用II類冶金鍵合工藝進行燒結，燒結過程中杜鎂絲（1） 、合金焊片（5）、管芯（4）、合金焊片（5）、杜鎂絲（1）由于合金焊片（5）的熔接形成一個整體，玻殼（2）收縮，與杜鎂絲（1）緊密結合形成外殼。