[發(fā)明專利]歧管清洗裝置及歧管清洗方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710408539.4
• 申請日: 2017-06-02
• 公開（公告）號: CN107008707B
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發(fā)明（設計）人: 游鎮(zhèn)滔
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: B08B9/032
• 分類號: B08B9/032;B08B9/027;B08B13/00;F26B21/00
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產(chǎn)權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

本發(fā)明公開了一種歧管清洗裝置，其包括歧管清洗容器、歧管容器蓋、溶劑清洗管道以及壓縮空氣清洗管道；其中歧管清洗容器包括密封口以及清洗孔；歧管容器蓋包括歧管固定孔以及排氣孔；溶劑清洗管道一端與歧管連接，另一端輸入清洗溶劑；壓縮空氣清洗管道一端與歧管連接，另一端輸入壓縮空氣。本發(fā)明還提供一種歧管清洗方法，本發(fā)明的歧管清洗裝置及歧管清洗方法通過歧管清洗容器的設置可對歧管進行有效清洗。

技術領域

本發(fā)明涉及管道清洗領域，特別是涉及一種歧管清洗裝置及歧管清洗方法。

背景技術

光刻膠涂布裝置需要通過歧管與光刻膠桶連接，以將光刻膠桶中的光刻膠通過歧管傳輸至光刻膠涂布裝置上。該歧管一般由通氣歧管和通液歧管組成，CDA(Clean DryAir，壓縮空氣)通過通氣歧管壓入到光刻膠桶中，使得光刻膠桶形成正壓，在光刻膠桶正壓的情況下，光刻膠桶中的光刻膠通過通液歧管傳輸至光刻膠涂布裝置上。

現(xiàn)有的歧管無法進行清洗，只能對歧管表面進行簡單擦拭，隨著使用次數(shù)的增加，歧管內(nèi)部會形成光刻膠結(jié)晶，該光刻膠結(jié)晶會對光刻膠涂布裝置上的光刻膠管路造成污染。

故，有必要提供一種歧管清洗裝置，以解決現(xiàn)有技術所存在的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種可對歧管進行有效清洗的歧管清洗裝置；以解決現(xiàn)有的歧管無法進行有效清洗，從而對光刻膠管路造成污染的技術問題。

本發(fā)明實施例提供一種歧管清洗裝置，其包括：

歧管清洗容器，具有一設置在所述歧管清洗容器的頂部的密封口以及設置在所述歧管清洗容器的底部的清洗孔；

歧管容器蓋，設置在所述歧管清洗容器的開口，用于密封所述密封口，所述歧管容器蓋設置有至少一個用于固定歧管的歧管固定孔以及至少一個排氣孔；

溶劑清洗管道，設置在所述歧管容器蓋的上方，一端與所述歧管連接，另一端輸入清洗溶劑；以及

壓縮空氣清洗管道，設置在所述歧管容器蓋的上方，一端與所述歧管連接，另一端輸入壓縮空氣。

在本發(fā)明所述的歧管清洗裝置中，所述歧管包括通液歧管以及通氣歧管，所述歧管固定孔包括用于固定所述通液歧管的通液歧管固定孔以及用于固定所述通氣歧管的通氣歧管固定孔；

所述通液歧管的一端分別與所述溶劑清洗管道和所述壓縮空氣清洗管道連接；所述通液歧管的另一端接近所述清洗孔；

所述通氣歧管的一端分別與所述溶劑清洗管道和所述壓縮空氣清洗管道連接；所述通氣歧管的另一端接近所述歧管清洗容器的密封口。

在本發(fā)明所述的歧管清洗裝置中，所述通液歧管的長度大于所述通氣歧管的長度。

在本發(fā)明所述的歧管清洗裝置中，所述溶劑清洗管道包括用于控制所述溶劑清洗管道的第一開關，所述壓縮空氣清洗管道包括用于控制所述壓縮空氣清洗管道的第二開關。

本發(fā)明還提供一種歧管清洗裝置對歧管進行清洗的歧管清洗方法，所述歧管清洗裝置包括：

歧管清洗容器，具有一設置在所述歧管清洗容器的頂部的密封口以及設置在所述歧管清洗容器的底部的清洗孔；

歧管容器蓋，設置在所述歧管清洗容器的開口，用于密封所述密封口，所述歧管容器蓋設置有至少一個用于固定歧管的歧管固定孔以及至少一個排氣孔；

溶劑清洗管道，設置在所述歧管容器蓋的上方，一端與所述歧管連接，另一端輸入清洗溶劑；以及

壓縮空氣清洗管道，設置在所述歧管容器蓋的上方，一端與所述歧管連接，另一端輸入壓縮空氣；其中所述歧管清洗方法包括：

將所述歧管固定在所述歧管固定孔上，并關閉所述清洗孔；