[發(fā)明專利]膜剝離裝置及剝離膜的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710408012.1 | 申請日： | 2017-06-02 |
| 公開（公告）號： | CN107464768B | 公開（公告）日： | 2023-09-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 崔原瑀;尹昇好 | 申請（專利權(quán)）人： | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京英賽嘉華知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11204 | 代理人： | 王達(dá)佐;劉錚 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 剝離 裝置 方法 | ||
公開了膜剝離裝置和膜剝離方法，膜剝離裝置包括剝離單元、剝離單元位置調(diào)節(jié)件和夾具。剝離單元具有在其端部分處的不平坦部分。剝離單元配置為剝離附接在顯示面板上的保護(hù)膜。剝離單元位置調(diào)節(jié)件連接至剝離單元。剝離單元位置調(diào)節(jié)件配置為調(diào)節(jié)剝離單元的位置。夾具與剝離單元分離地布置。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明的示例性實施方式涉及膜剝離裝置以及剝離膜的方法。
背景技術(shù)
顯示裝置可包括液晶顯示器(LCD)或有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器。
近來，已經(jīng)開發(fā)了柔性顯示裝置。OLED顯示器可包括在柔性顯示裝置中。OLED顯示器可包括顯示面板。顯示面板可包括兩個電極和有機(jī)發(fā)射層。有機(jī)發(fā)射層可布置在兩個電極之間。從陰極注入的電子和從陽極注入的空穴可在有機(jī)發(fā)射層互相結(jié)合以形成激子。陰極和陽極可各自為電極。可在激子釋放能量并且從激發(fā)態(tài)下降到基態(tài)時發(fā)射光。
在OLED顯示器中，保護(hù)膜可附接至顯示面板的相對的表面。保護(hù)膜可配置為保護(hù)顯示面板。然而，在顯示面板的上表面上可形成有用于檢查導(dǎo)通的導(dǎo)通測試焊盤。保護(hù)膜可布置在顯示面板的周邊部分中。因此，可能因?qū)y試而移除保護(hù)膜的一部分，以使導(dǎo)通測試焊盤暴露于外部。
包括導(dǎo)通測試焊盤的保護(hù)膜可通過使用激光來切割。經(jīng)切割的保護(hù)膜可通過使用膜剝離裝置移除。
在一些情況中，保護(hù)膜可能不被完全移除，或者保護(hù)膜被過度移除并且顯示面板的顯示單元不被保護(hù)。膜剝離裝置還可能刮傷顯示面板。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個或多個示例性實施方式提供可提高保護(hù)膜的膜剝離效率的膜剝離裝置和剝離膜的方法。
本發(fā)明的示例性實施方式提供膜剝離裝置。膜剝離裝置包括剝離單元、剝離單元位置調(diào)節(jié)件和夾具。剝離單元在其端部分處具有不平坦部分。剝離單元配置為剝離附接在顯示面板上的保護(hù)膜。剝離單元位置調(diào)節(jié)件連接至剝離單元。剝離單元位置調(diào)節(jié)件配置為調(diào)節(jié)剝離單元的位置。夾具與剝離單元分離地布置。
剝離單元可包括剝離銷和剝離桿。剝離銷可配置為接觸保護(hù)膜。剝離桿可從剝離銷延伸并且可連接至剝離單元位置調(diào)節(jié)件。剝離銷的端部分可具有不平坦部分。
剝離銷可包括第一表面和第二表面。第一表面可具有在第一方向上延伸的第一寬度。第二表面可具有在第二方向上延伸的第二寬度。第二方向可與第一方向交叉。第一寬度可大于第二寬度。
不平坦部分的縱向方向可與第一方向基本上平行。
膜剝離裝置還可包括臺。臺可配置為將顯示面板安裝在其中。
本公開的示例性實施方式提供膜剝離方法。方法包括：提供剝離單元，剝離單元在其端部處具有不平坦部分；使剝離單元接觸周邊保護(hù)膜，其中，周邊保護(hù)膜附接至顯示面板的周邊部分；通過移動剝離單元使周邊保護(hù)膜與顯示面板的顯示單元的顯示器保護(hù)膜分離；通過移動剝離單元形成在周邊保護(hù)膜中的彎曲部分；從顯示面板移除周邊保護(hù)膜。
膜剝離方法還可包括通過使用激光來切割布置在顯示面板上的保護(hù)膜。沿著切割線使周邊保護(hù)膜和顯示器保護(hù)膜互相分離。
剝離單元的位置可通過使用連接至剝離單元的剝離單元位置調(diào)節(jié)件來調(diào)節(jié)。
剝離單元可包括剝離銷。剝離銷可配置為接觸保護(hù)膜，并且剝離銷的端部分具有在第一方向上延伸的不平坦部分。
剝離銷可布置成使得不平坦部分的縱向方向與切割線基本上平行以允許剝離銷接觸周邊保護(hù)膜。
可在與切割線交叉的第二方向上移動剝離銷以將周邊保護(hù)膜與顯示器保護(hù)膜分離。
可在第一方向上移動剝離銷以在周邊保護(hù)膜中形成彎曲部分。
附圖說明
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
