[發明專利]一種利用電磁原理的壓力傳感器及其工作方法有效
| 申請號： | 201710406457.6 | 申請日： | 2017-06-01 |
| 公開（公告）號： | CN107246928B | 公開（公告）日： | 2019-10-11 |
| 發明（設計）人： | 聶萌;夏云漢;楊恒山 | 申請（專利權）人： | 東南大學 |
| 主分類號： | G01L1/12 | 分類號： | G01L1/12;G01L9/16 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211189 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 利用 電磁 原理 壓力傳感器 及其 工作 方法 | ||
1.一種利用電磁原理的壓力傳感器，其特征在于，該壓力傳感器包括襯底(1)、薄膜(2)、永磁體(3)、金屬線圈(4)和導體懸臂梁(5)，永磁體(3)固定連接在襯底(1)的底面，襯底(1)的上部設有空腔(101)，薄膜(2)生長在襯底(1)的頂面，且薄膜(2)覆蓋在空腔(101)的上方；金屬線圈(4)固定連接在薄膜(2)的頂面，導體懸臂梁(5)固定連接在襯底(1)的頂面，且導體懸臂梁(5)位于金屬線圈(4)上方；
在工作時，當外界壓力施加在傳感器表面時，薄膜(2)發生彎曲，金屬線圈(4)位置隨薄膜(2)發生位移，導體懸臂梁(5)與金屬線圈(4)之間的距離發生改變；金屬線圈(4)位置發生位移，使得金屬線圈(4)周圍磁場發生變化，導體懸臂梁(5)產生感應電流；根據所述感應電流獲取外界壓力。
2.按照權利要求1所述的利用電磁原理的壓力傳感器，其特征在于，所述的導體懸臂梁(5)包括連接部和水平部，連接部一端與水平部固定連接，連接部另一端與襯底(1)頂面固定連接，水平部位于金屬線圈(4)正上方。
3.按照權利要求1所述的利用電磁原理的壓力傳感器，其特征在于，所述金屬線圈(4)位于空腔(101)的正上方。
4.一種權利要求1所述的壓力傳感器的工作方法，其特征在于，該方法包括：
薄膜(2)隨外界壓力施加在傳感器表面而發生彎曲，導體懸臂梁(5)與金屬線圈(4)之間的距離發生改變；金屬線圈(4)位置發生位移，使得金屬線圈(4)周圍磁場發生變化，導體懸臂梁(5)產生感應電流；根據所述感應電流獲取外界壓力。
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