[發(fā)明專利]一種環(huán)形電阻式MEMS液體角度陀螺儀在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710404698.7 | 申請日： | 2017-06-01 |
| 公開（公告）號： | CN107289919A | 公開（公告）日： | 2017-10-24 |
| 發(fā)明（設計）人： | 趙玉龍;徐瀚洋;姜開春 | 申請（專利權）人： | 西安交通大學 |
| 主分類號： | G01C19/00 | 分類號： | G01C19/00;G01C9/10 |
| 代理公司： | 西安智大知識產(chǎn)權代理事務所61215 | 代理人： | 賀建斌 |
| 地址： | 710049 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 環(huán)形 電阻 mems 液體 角度 陀螺儀 | ||
1.一種環(huán)形電阻式MEMS液體角度陀螺儀，其特征在于：包括通過UV膠黏劑封裝的上基板(1)和下基板(3)，上基板(1)的下表面有環(huán)形的溝槽通道(2)，溝槽通道(2)的內(nèi)壁設有疏水層(7)；下基板(3)的上表面包括兩條平行的環(huán)形電阻(4)，環(huán)形電阻(4)末端連接有金屬引線板(6)；環(huán)形溝槽(2)內(nèi)設有水銀液滴(5)；
封裝過程中，控制環(huán)形電阻(4)處于上基板(1)溝槽通道(2)的內(nèi)部且處于溝槽通道(2)的中間位置。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種環(huán)形電阻式MEMS液體角度陀螺儀，其特征在于：所述的上基板(1)采用單晶硅材料，采用MEMS工藝制作溝槽通道(2)和疏水層(7)。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種環(huán)形電阻式MEMS液體角度陀螺儀，其特征在于：所述的下基板(3)采用玻璃材料，采用MEMS工藝制作環(huán)形電阻(4)和金屬引線板(6)，環(huán)形電阻(4)采用合金材料，金屬引線板(6)設置在環(huán)形電阻(4)的末端，采用金材料。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種環(huán)形電阻式MEMS液體角度陀螺儀，其特征在于：所述的上基板(1)略小于下基板(3)，封裝過程中控制下基板(3)上的金屬引線板(6)不被上基板(1)覆蓋。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種環(huán)形電阻式MEMS液體角度陀螺儀，其特征在于：所述的水銀液滴(5)的直徑與溝槽通道(2)的寬度相同。
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