[發(fā)明專利]一種在片天線測試探針臺

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710396149.X
• 申請日: 2017-05-27
• 公開（公告）號: CN107015070A
• 公開（公告）日: 2017-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙彩霞;陳永杏
• 申請（專利權(quán)）人: 上海賢行電子科技有限公司
• 主分類號: G01R29/10
• 分類號: G01R29/10;G01R1/04
• 代理公司: 上海伯瑞杰知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司31227
• 代理人: 孟旭彤

1.一種在片天線測試探針臺，用于對在片天線的測試。其特征在于，該探針臺包括探針臺支架，探針臺支架從側(cè)面看為豎起的凹形。

在該探針臺支架頂面上放置有減震墊，減震墊的上面放置配重底板。

探針座、顯微鏡和樣品臺安裝在配重底板上，用于放置被測在片天線的樣品臺位于配重底板的頭部。

探針臺支架頂面上設(shè)有顯示器，該顯示器通過一個顯示器支架安裝在探針臺支架頂面上。

配重底板上設(shè)有顯微鏡支架，顯微鏡支架上裝設(shè)有顯微鏡移動擺臂，該顯微鏡移動擺臂與顯微鏡連接。

2.如權(quán)利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，探針臺支架頂面從后向前看，呈現(xiàn)為凸形。

3.如權(quán)利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，減震墊采用氣囊防震。

4.如權(quán)利要求1所述的片上天線測試探針臺，其特征在于，探針座上設(shè)有高頻模塊和波導管，高頻模塊通過多個設(shè)置的緊定旋鈕進行緊定調(diào)節(jié)。

5.如權(quán)利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，顯微鏡支架上設(shè)有X、Y方向調(diào)節(jié)旋鈕，以及精、粗調(diào)焦旋鈕。

6.如權(quán)利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，探針座上設(shè)有X、Y、Z、R軸調(diào)節(jié)旋鈕。

7.如權(quán)利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，樣品臺上設(shè)有X、Y、Z軸調(diào)節(jié)旋鈕。

8.如權(quán)利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，探針臺支架是空腔流體配重結(jié)構(gòu)。

9.如權(quán)利要求7所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，樣品臺在其前端設(shè)有用于被測在片天線定位裝置，定位裝置的中心位置設(shè)有針孔吸附孔，通過內(nèi)置在樣品臺中的抽真空氣道將被測在片天線牢牢固定在定位處。

10.如權(quán)利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，與該探針臺配套使用的裝置包括安裝在轉(zhuǎn)盤底座的L形旋轉(zhuǎn)臂，L形旋轉(zhuǎn)臂的頭部設(shè)有活動搖臂，通過轉(zhuǎn)盤底座的轉(zhuǎn)盤馬達的驅(qū)動，搖臂實現(xiàn)對樣品臺上被測在片天線的無死角移動掃描。

11.如權(quán)利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，探針臺支架底面設(shè)有固定調(diào)平地腳。

12.如權(quán)利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，顯示器支架是萬向調(diào)節(jié)支架。