[發明專利]一種在片天線測試探針臺

在審

• 申請號: 201710396149.X
• 申請日: 2017-05-27
• 公開（公告）號: CN107015070A
• 公開（公告）日: 2017-08-04
• 發明（設計）人: 趙彩霞;陳永杏
• 申請（專利權）人: 上海賢行電子科技有限公司
• 主分類號: G01R29/10
• 分類號: G01R29/10;G01R1/04
• 代理公司: 上海伯瑞杰知識產權代理有限公司31227
• 代理人: 孟旭彤

1.一種在片天線測試探針臺，用于對在片天線的測試。其特征在于，該探針臺包括探針臺支架，探針臺支架從側面看為豎起的凹形。

在該探針臺支架頂面上放置有減震墊，減震墊的上面放置配重底板。

探針座、顯微鏡和樣品臺安裝在配重底板上，用于放置被測在片天線的樣品臺位于配重底板的頭部。

探針臺支架頂面上設有顯示器，該顯示器通過一個顯示器支架安裝在探針臺支架頂面上。

配重底板上設有顯微鏡支架，顯微鏡支架上裝設有顯微鏡移動擺臂，該顯微鏡移動擺臂與顯微鏡連接。

2.如權利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，探針臺支架頂面從后向前看，呈現為凸形。

3.如權利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，減震墊采用氣囊防震。

4.如權利要求1所述的片上天線測試探針臺，其特征在于，探針座上設有高頻模塊和波導管，高頻模塊通過多個設置的緊定旋鈕進行緊定調節。

5.如權利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，顯微鏡支架上設有X、Y方向調節旋鈕，以及精、粗調焦旋鈕。

6.如權利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，探針座上設有X、Y、Z、R軸調節旋鈕。

7.如權利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，樣品臺上設有X、Y、Z軸調節旋鈕。

8.如權利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，探針臺支架是空腔流體配重結構。

9.如權利要求7所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，樣品臺在其前端設有用于被測在片天線定位裝置，定位裝置的中心位置設有針孔吸附孔，通過內置在樣品臺中的抽真空氣道將被測在片天線牢牢固定在定位處。

10.如權利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，與該探針臺配套使用的裝置包括安裝在轉盤底座的L形旋轉臂，L形旋轉臂的頭部設有活動搖臂，通過轉盤底座的轉盤馬達的驅動，搖臂實現對樣品臺上被測在片天線的無死角移動掃描。

11.如權利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，探針臺支架底面設有固定調平地腳。

12.如權利要求1所述的在片天線測試探針臺，其特征在于，顯示器支架是萬向調節支架。