[發(fā)明專利]一種用于芯片除塵的裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710395893.8
• 申請(qǐng)日: 2017-05-31
• 公開（公告）號(hào): CN107413769A
• 公開（公告）日: 2017-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張文杰;謝亮;金湘亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇芯力特電子科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B5/02
• 分類號(hào): B08B5/02;B08B15/04;B08B5/04;B08B13/00
• 代理公司: 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司32224
• 代理人: 董建林,韓賽

1.一種用于芯片除塵的裝置，包括箱體（1），所述箱體（1）的前側(cè)敞口（1.1）并在敞口（1.1）處設(shè)置箱門；其特征在于：還包括：

氣泵；

盤式噴頭，設(shè)置于所述箱體（1）內(nèi)；

電機(jī)（4），設(shè)置于所述箱體（1）內(nèi)；

轉(zhuǎn)盤（3），由所述電機(jī)（4）驅(qū)動(dòng)可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置于所述箱體（1）內(nèi)；

集塵室（5），設(shè)置在所述箱體（1）兩側(cè)的外部；

風(fēng)機(jī)，設(shè)置于所述集塵室（5）中；

下夾條（12），設(shè)置于所述轉(zhuǎn)盤（3）上；

上夾條（13），可調(diào)節(jié)地設(shè)置于所述下夾條（12）的上方；

螺栓（14），具有固定所述下夾條（12）的螺紋段和滑動(dòng)連接所述上夾條（13）的非螺紋段；

夾緊彈簧（15），一端連接至所述上夾條（13），另一端連接至所述螺栓（14）從而將芯片夾在所述上夾條（13）和所述下夾條（12）之間；

所述盤式噴頭與所述氣泵連接并且位于所述轉(zhuǎn)盤（3）的上方面朝所述轉(zhuǎn)盤（3）設(shè)置；所述箱體（1）與所述集塵室（5）連通，所述集塵室（5）具有一出氣管（6）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片除塵的裝置，其特征在于：所述盤式噴頭具有一個(gè)噴頭本體（2）和連接所述噴頭本體（2）和氣泵的高壓氣管（8）；所述噴頭本體（2）為正方形或圓形的結(jié)構(gòu)體，其內(nèi)部具有用于氣體分流的分流腔（2.1），所述分流腔（2.1）連通所述高壓氣管（8）；所述噴頭本體（2）的下表面具有若干用于使氣流從所述分流腔（2.1）中噴出的氣孔（2.2）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于芯片除塵的裝置，其特征在于：所述上夾條（13）和所述下夾條（12）的夾持面上均設(shè)置有若干等距排列、用于夾持芯片的卡槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片除塵的裝置，其特征在于：還包括：

氣缸（11），設(shè)置于所述轉(zhuǎn)盤（3）上；

所述氣缸（11）的推桿連接所述電機(jī)（4）從而驅(qū)動(dòng)所述電機(jī)（4）和轉(zhuǎn)盤（3）升降。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片除塵的裝置，其特征在于：還包括：

防逆流擋片（7），轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述集塵室（5）與所述箱體（1）的連通處；

所述防逆流擋片（7）能夠在所述風(fēng)機(jī)的吸力作用下開啟，也能夠在自身重力作用下關(guān)閉。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于芯片除塵的裝置，其特征在于：還包括：

限位塊（9），設(shè)置在所述集塵室（5）內(nèi)；

所述防逆流擋片（7）開啟角度達(dá)到30～45°時(shí)碰觸所述限位塊（9）。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片除塵的裝置，其特征在于：所述集塵室（5）中設(shè)置有用于將氣流引導(dǎo)至所述出氣管（6）的導(dǎo)流片（10）。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片除塵的裝置，其特征在于：所述集塵室（5）中設(shè)置有用于將氣流引導(dǎo)至所述出氣管（6）的導(dǎo)流網(wǎng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片除塵的裝置，其特征在于：所述出氣管（6）處設(shè)置過濾網(wǎng)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片除塵的裝置，其特征在于：還包括：

灰塵傳感器，設(shè)置在所述箱體（1）內(nèi)用于檢測(cè)其內(nèi)部的灰塵濃度。