[發明專利]真空鍍膜設備的檢測系統

有效

• 申請號: 201710392929.7
• 申請日: 2017-05-27
• 公開（公告）號: CN107254672B
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發明（設計）人: 崔駿;劉壯;張擷秋;楊世航;陳旺壽;李霖;鐘國華
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院
• 主分類號: C23C14/52
• 分類號: C23C14/52;C23C14/54
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

本發明提供一種真空鍍膜設備的檢測系統，所述檢測系統包括控制裝置和檢測裝置，所述檢測裝置包括攝像頭和驅動結構，所述攝像頭與所述驅動結構連接，所述控制裝置包括控制單元，所述攝像頭用于對所述真空鍍膜設備的內部進行拍攝，所述控制單元用于控制所述驅動結構驅動所述攝像頭移動。本發明提供的真空鍍膜設備的檢測系統，所述控制單元可以控制所述驅動結構驅動所述攝像頭移動，所述攝像頭移動可以對所述真空鍍膜設備的內部的各個細節進行拍攝，從而在真空環境中便可以實現對真空鍍膜設備的內部進行檢測，避免真空鍍膜設備的內部暴露在大氣環境中。

技術領域

本發明涉及真空鍍膜設備的檢測技術領域，尤其涉及一種真空鍍膜設備的檢測系統。

背景技術

由于現代科技發展的要求，真空鍍膜技術得到了飛速的發展。薄膜技術可以改變工件表面性能，提高工件耐磨損、抗氧化和耐腐蝕等性能，從而延長工件的使用壽命。薄膜技術也可以實現光學、電學、半導體薄膜器件的制備，具有很高的經濟價值。

現有的真空鍍膜設備按照其生產特點可以分為兩大類，分別是流水線式真空鍍膜設備和單體式真空鍍膜設備。其中，流水線式設備因為其可以連續化生產，效率高，被廣泛的使用。在不斷地生產過程中，流水線式真空鍍膜設備不可避免的會出現很多問題，有些問題在設備內部，無法被觀測，通常需要將真空設備暴露在大氣環境中，逐點檢查，對于過大的設備，檢測消耗的時間會更長，而對于真空設備來說，應盡量避免其內部在大氣中所處的時間。

發明內容

為了解決上述問題，本發明提出一種真空鍍膜設備的檢測系統，不需要將真空鍍膜設備暴露在大氣環境中，在真空環境中便可以對所述真空鍍膜設備進行檢測。

本發明提出的具體技術方案為：提供一種真空鍍膜設備的檢測系統，所述檢測系統包括控制裝置和檢測裝置，所述檢測裝置包括攝像頭和驅動結構，所述攝像頭與所述驅動結構連接，所述控制裝置包括控制單元，所述攝像頭用于對所述真空鍍膜設備的內部進行拍攝，所述控制單元用于控制所述驅動結構驅動所述攝像頭移動。

進一步地，所述檢測裝置還包括底座，所述驅動結構包括推進桿和推進電機，所述推進電機固定于所述底座上，所述推進桿一端與所述推進電機連接、一端與所述攝像頭連接。

進一步地，所述驅動結構還包括設置于所述底座內的第一齒輪、第二齒輪和旋轉電機，所述第一齒輪與所述推進電機連接，所述第二齒輪與所述旋轉電機連接，所述第一齒輪與所述第二齒輪相互齒合。

進一步地，所述檢測裝置還包括設置于所述底座內的電池和電路板，所述電池與所述電路板連接，所述電路板分別與所述攝像頭、所述推進電機、所述旋轉電機連接。

進一步地，所述檢測裝置還包括分別與所述攝像頭、所述驅動結構連接的第一收發器，所述檢測裝置通過所述第一收發器與所述控制裝置進行通信。

進一步地，所述檢測系統還包括設置于所述檢測裝置表面的保護膜，所述保護膜由絕熱材料制成。

進一步地，所述檢測裝置還包括溫度傳感器，所述溫度傳感器與所述驅動結構連接。

進一步地，所述檢測裝置還包括設置于所述攝像頭的鏡頭上的隔熱結構。

進一步地，所述控制裝置還包括顯示屏，所述顯示屏用于對所述攝像頭拍攝的圖像進行顯示。

進一步地，所述控制裝置還包括第二收發器，所述第二收發器分別與所述顯示屏、所述控制單元連接，所述控制裝置通過所述第二收發器與所述檢測裝置進行通信。

本發明提供的真空鍍膜設備的檢測系統，其包括控制裝置和檢測裝置，所述檢測裝置包括攝像頭和驅動結構，所述控制裝置包括控制單元，所述控制單元可以控制所述驅動結構驅動所述攝像頭移動，所述攝像頭移動可以對所述真空鍍膜設備的內部的各個細節進行拍攝，從而在真空環境中便可以實現對真空鍍膜設備的內部進行檢測，避免真空鍍膜設備的內部暴露在大氣環境中。