[發明專利]用于檢測作為樣品的平面物的表面的檢測裝置和檢測方法

在審

• 申請號: 201710390715.6
• 申請日: 2017-05-27
• 公開（公告）號: CN107449370A
• 公開（公告）日: 2017-12-08
• 發明（設計）人: 安斯加爾·考普;索倫·斯普林曼;迪爾克·呂特晏斯
• 申請（專利權）人: 艾可有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01N21/47;G01N21/55
• 代理公司: 北京聿宏知識產權代理有限公司11372
• 代理人: 吳大建,陳偉

1.一種用于檢測作為樣品(12)的平面物(14)的表面圖像的檢測裝置，其中所述檢測裝置(10)包括被照射光源(20)照射的被動的照亮檢測區(16)的曝光體(22)，以及至少一個朝向所述檢測區(16)的光學傳感器(30)，其特征在于，所述曝光體(22)構造成局部透光，并且所述傳感器(30)布置成相對于檢測區(16)光學上于所述曝光體(22)的那一側透過所述曝光體(22)來檢測所述檢測區(16)，和/或其特征在于，所述照射光源(20)朝向所述曝光體(22)，并且所述曝光體(22)連續地在垂直于待測試或待檢查的平面物(14)的表面的剖面內延伸至少120°。

2.如權利要求1所述的檢測裝置(10)，其特征在于，所述曝光體(22)是半透明的鏡子(46)和/或透光的帶孔的散射體或反射體(47、48)。

3.如權利要求2所述的檢測裝置(10)，其特征在于，反射率或透光性，尤其是孔的密度，和/或回射情況在所述曝光體(22)的延伸部上變化。

4.如權利要求1至3中任意一項所述的檢測裝置(10)，其特征在于，所述照射光源(20)朝向所述曝光體(22)和/或以其照射角度(24)限制于所述曝光體(22)的延伸部上。

5.如權利要求1至4中任意一項所述的檢測裝置(10)，其特征在于，所述曝光體(22)至少在具有橢圓橫截面(25)的區域(23)中延伸，以及所述橢圓橫截面(25)的焦點(26)位于所述檢測區(16)中并且所述橢圓橫截面(25)的另一個焦點(26)位于照射光源(20)中。

6.如權利要求5所述的檢測裝置(10)，其特征在于，所述檢測裝置(10)具有至少兩個照射光源(20)，并且所述曝光體(22)至少在兩個分別具有橢圓橫截面(25)的區域(23)內延伸，以及所述兩個橢圓橫截面(25)中的每一個橢圓橫截面的一個焦點(26)總是位于檢測區(16)中，并且所述兩個橢圓橫截面(25)中的每一個橢圓橫截面的另一個焦點(26)總是位于所述兩個照射光源(20)中的一個照射光源處。

7.一種用于檢測作為樣品(12)的平面物(14)的表面圖像的檢測裝置，其中所述檢測裝置(10)包括至少一個朝向檢測區(16)的直射光源(50)以及至少一個朝向所述檢測區(16)的光學傳感器(30)，其特征在于，所述至少一個直射光源(50)經過平行于機器方向(18)并且垂直于待測試或待檢查的平面物(14)的表面的側鏡(52)朝向所述檢測區(16)，所述樣品(12)沿著該機器方向通過所述檢測裝置。

8.如權利要求7所述的檢測裝置(10)，其特征在于，所述至少一個直射光源(50)按照以下方式朝向所述檢測區(16)，即其光線被密集地反射到光學傳感器(30)旁。

9.如權利要求7或8所述的檢測裝置(10)，其特征在于，所述至少一個直射光源(50)布置在所述檢測區(16)的上方或者在超過所述檢測區(16)的寬度小于或等于10％的寬度內布置,并且優選所有的直射光源(50)布置在所述檢測區(16)的上方或者在超過所述檢測區(16)的寬度小于或等于10％的寬度內布置。

10.如權利要求7至9中任意一項所述的檢測裝置(10)，其特征在于，所述側鏡(52)是平坦的。

11.如權利要求1至6中任意一項以及如權利要求7至9中任意一項所述的檢測裝置(10)，其特征在于，所述直射光源(50)和所述照射光源(20),由于例如它們的極性，它們的波長或它們的時鐘發出可分離的光，和/或其特征在于，無論所述直射光源(50)還是所述照射光源(20)的光通過共同的光學傳感器(30)或者所述直射光源(50)的光和所述照射光源(20)的光通過至少兩種不同的光學傳感器(30)進行檢測。

12.一種用于檢測作為樣品(12)的平面物(14)的表面圖像的檢測方法，其中通過被照射光源(20)照射的被動的曝光體(22)間接地照亮檢測區(16)，并且通過至少一個光學傳感器(30)檢測從所述檢測區(16)發出的光，其特征在于，所述光學傳感器透過所述曝光體(22)來檢測所述檢測區(16)，和/或其特征在于，以至少120°的范圍在垂直于待測試或待檢查的平面物(14)的表面的剖面內連續地照亮所述檢測區(16)。