[發(fā)明專利]金剛線切割多晶硅片的制絨預處理方法及應用

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710388329.3
• 申請日: 2017-05-27
• 公開（公告）號: CN107146829B
• 公開（公告）日: 2019-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 彭也慶;胡動力;章金兵;郝剛;劉華
• 申請（專利權(quán)）人: 江西賽維LDK太陽能高科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0236
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種金剛線切割多晶硅片的制絨預處理方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將碳化硅粉末分散在水中，得到制絨預處理液，其中，碳化硅在所述制絨預處理液中的質(zhì)量分數(shù)為2-10％，所述碳化硅的圓度為0.85-0.95；

(2)將金剛線切割多晶硅片放置于裝有所述制絨預處理液的容器中，在超聲波條件下，進行超聲處理2-5min，得到制絨預處理多晶硅片，其具有厚度為8-12μm的均勻粗糙的表面損傷層；其中，所述超聲處理時的超聲頻率為20-100kHz，超聲功率為1500-3000W。

2.如權(quán)利要求1所述的制絨預處理方法，其特征在于，所述制絨預處理液在容器中的液位為2-5cm。

3.如權(quán)利要求1所述的制絨預處理方法，其特征在于，所述超聲處理時的溫度控制在25-60℃。

4.如權(quán)利要求1所述的制絨預處理方法，其特征在于，所述碳化硅粉末的目數(shù)在400目以上。

5.如權(quán)利要求1所述的制絨預處理方法，其特征在于，在進行所述超聲處理時，同時采用兩種以上不同頻率的超聲波來進行，其中，所述超聲波的頻率選自20-100kHz中的任意兩種以上。

6.如權(quán)利要求5所述的制絨預處理方法，其特征在于，所述超聲波的頻率分別選自20-40kHz、30-60kHz、50-100kHz頻段的三種不同頻率。

7.如權(quán)利要求1-6任一項所述的制絨預處理方法，其特征在于，所述制絨預處理液中還含有表面活性劑，所述表面活性劑的HLB值為10-20；所述預處理液的表面張力35-72達因/厘米。

8.一種制絨預處理硅片，其特征在于，所述制絨預處理硅片是按權(quán)利要求1-7任一項所述的制絨預處理方法制得。

9.一種金剛線切割多晶硅片的制絨方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將碳化硅粉末分散在水中，得到制絨預處理液，其中，碳化硅在所述制絨預處理液中的質(zhì)量分數(shù)為2-10％，所述碳化硅的圓度為0.85-0.95；

(2)將金剛線切割多晶硅片放置于裝有所述制絨預處理液的容器中，在超聲波條件下，進行超聲處理2-5min，得到制絨預處理多晶硅片，其具有厚度為8-12μm的均勻粗糙的表面損傷層；其中，所述超聲處理時的超聲頻率為20-100kHz，超聲功率為1500-3000W；

(3)將所述制絨預處理多晶硅片進行常規(guī)制絨，經(jīng)水洗、干燥后得到金剛線切割多晶硅片制絨產(chǎn)品。

10.一種采用權(quán)利要求9所述的制絨方法制得的金剛線切割多晶硅片制絨產(chǎn)品。