[發明專利]蝕刻液在審
| 申請號： | 201710388257.2 | 申請日： | 2017-05-27 |
| 公開（公告）號： | CN107446582A | 公開（公告）日： | 2017-12-08 |
| 發明（設計）人： | 吉崎了;向喜廣 | 申請（專利權）人： | 長瀨化成株式會社 |
| 主分類號： | C09K13/06 | 分類號： | C09K13/06;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司11127 | 代理人： | 龐東成,張志楠 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 蝕刻 | ||
【權利要求書】：
1.一種蝕刻液，其特征在于，該蝕刻液含有(A)草酸、(B)聚乙烯吡咯烷酮以及(C)水，被用于氧化銦系膜的蝕刻。
2.如權利要求1所述的蝕刻液，其中，(B)聚乙烯吡咯烷酮的含量為0.01重量％～1重量％。
3.如權利要求1或2所述的蝕刻液，其進一步含有(D)萘磺酸縮合物。
4.如權利要求3所述的蝕刻液，其中，(B)聚乙烯吡咯烷酮與(D)萘磺酸縮合物的含有比例以重量比計為(B)聚乙烯吡咯烷酮:(D)萘磺酸縮合物＝100:1～0.5:100。
5.如權利要求1～4中任一項所述的蝕刻液，其進一步含有(E)堿性成分。
6.如權利要求5所述的蝕刻液，其中，(E)堿性成分為選自由氨、水溶性烷基胺、水溶性烷醇胺以及烷基季銨組成的組中的至少一種。
7.如權利要求1～6中任一項所述的蝕刻液，其粘度為0.5mPa·s～50mPa·s。
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