[發明專利]薄膜晶體管測試元件組、測試方法及陣列基板

有效

• 申請號: 201710385385.1
• 申請日: 2017-05-26
• 公開（公告）號: CN107121628B
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 馬彬;崔子巍;尹巖巖;田鵬程;李鑫
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 趙天月

1.一種薄膜晶體管測試元件組，其特征在于，包括：

襯底；

薄膜晶體管，所述薄膜晶體管設置在所述襯底上，所述薄膜晶體管包括有源層、源極、漏極以及柵極；

遮光層，所述遮光層設置在所述有源層遠離所述襯底的一側，所述遮光層與所述有源層對應設置；

第一電極層，所述第一電極層與所述漏極相連；以及

第二電極層，所述第二電極層絕緣設置在所述第一電極層遠離所述襯底的一側，所述第二電極與所述漏極以及所述源極的至少之一相連，以及

第一電阻，所述第一電阻設置在所述漏極以及所述第二電極層之間。

2.根據權利要求1所述的薄膜晶體管測試元件組，其特征在于，進一步包括：第二電阻，所述第二電阻設置在所述源極以及所述第二電極層之間。

3.根據權利要求1所述的薄膜晶體管測試元件組，其特征在于，所述襯底為陣列基板襯底。

4.根據權利要求1所述的薄膜晶體管測試元件組，其特征在于，所述薄膜晶體管進一步包括：

絕緣層，所述絕緣層設置在所述源極、所述漏極以及所述第一電極層遠離所述襯底的一側，所述遮光層是由添加有黑色染料的所述絕緣層構成的。

5.根據權利要求1所述的薄膜晶體管測試元件組，其特征在于，所述遮光層是由黑色樹脂形成的。

6.一種陣列基板，其特征在于，包括權利要求1-5任一項所述的薄膜晶體管測試元件組。

7.一種薄膜晶體管測試元件組測試方法，其特征在于，所述薄膜晶體管測試元件組包括：薄膜晶體管，所述薄膜晶體管包括有源層、源極、漏極以及柵極；遮光層，所述遮光層設置在所述有源層遠離所述襯底的一側，所述遮光層與所述有源層對應設置；第一電極層，所述第一電極層與所述漏極相連；以及第二電極層，所述第二電極層絕緣設置在所述第一電極層遠離所述襯底的一側，所述第二電極與所述漏極相連，

所述方法包括：分別在所述源極、所述漏極以及所述柵極上施加電壓，并檢測所述漏極的電流，

在所述第二電極層以及所述漏極之間設置第一電阻，以便所述第二電極層上的分壓，能夠模擬陣列基板上公共電極的電壓。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，進一步包括：

在所述第二電極層以及所述源極之間設置第二電阻，以便所述第二電極層上的分壓，能夠模擬陣列基板上公共電極的電壓。