[發(fā)明專利]基于光致發(fā)光評(píng)估多晶硅錠的晶體質(zhì)量的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710384704.7
• 申請(qǐng)日: 2017-05-26
• 公開（公告）號(hào): CN107045996B
• 公開（公告）日: 2019-11-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李易成;梁學(xué)勤;陳發(fā)勤;李旭敏;李宏;張軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 宜昌南玻硅材料有限公司;中國南玻集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66;G01R31/36
• 代理公司: 42103 宜昌市三峽專利事務(wù)所
• 代理人: 黎澤洲<國際申請(qǐng)>=<國際公布>=<進(jìn)入

1.一種基于光致發(fā)光評(píng)估多晶硅錠的晶體質(zhì)量的方法，其特征是包括以下步驟：

s1、建立光致發(fā)光硅片檢測系統(tǒng)；

s2、以光致發(fā)光硅片檢測系統(tǒng)檢測多晶硅片(5)；

s3、獲取多晶硅片(5)的影響因子；

s4、將多晶硅片(5)制備成電池片，測試電池片的電性能參數(shù)；

s5、根據(jù)各個(gè)影響因子對(duì)電池片的電性能影響程度，獲取Q值；

Q值獲取公式為：

式中，Q為硅錠質(zhì)量參數(shù)，A、B、C……為影響權(quán)重；a、b、c……為各類影響因子的測試值，e為自然常數(shù)，x₁、x₂、x₃……為權(quán)重修正系數(shù)；

根據(jù)Q值評(píng)估多晶硅片的質(zhì)量。

2.一種基于光致發(fā)光評(píng)估多晶硅錠的晶體質(zhì)量的方法，其特征是包括以下步驟：

s1、建立光致發(fā)光硅片檢測系統(tǒng)；

s2、選取批量相同鑄錠工藝的硅錠，剖錠之后將所有硅塊按照從底部到頂部的順序切割成多晶硅片(5)，按照硅塊底部到硅塊頂部的順序?qū)⒍嗑Ч杵?5)分組；

s3、以光致發(fā)光硅片檢測系統(tǒng)檢測各組的多晶硅片(5)，獲取多晶硅片(5)的影響因子，將影響因子取平均值；

s4、將各組的多晶硅片(5)在相同的電池制備工藝下制成電池片，測試電池片的電性能參數(shù)，取各組電池片的電性能參數(shù)平均值；

s5、根據(jù)各個(gè)影響因子對(duì)電池片電性能參數(shù)的影響權(quán)重，獲取Q值，

Q值獲取公式為：

式中，Q為硅錠質(zhì)量參數(shù)，A、B、C……為影響權(quán)重；a、b、c……為各類影響因子的測試值，e為自然常數(shù)，x₁、x₂、x₃……為權(quán)重修正系數(shù)；

根據(jù)Q值評(píng)估整個(gè)硅錠的質(zhì)量。

3.根據(jù)權(quán)利要求1～2任一項(xiàng)所述的基于光致發(fā)光評(píng)估多晶硅錠的晶體質(zhì)量的方法，其特征是：根據(jù)不同位置對(duì)應(yīng)的硅塊的Q值評(píng)估整個(gè)硅錠的質(zhì)量，反映熱場結(jié)構(gòu)的缺陷和鑄錠工藝優(yōu)化方向。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于光致發(fā)光評(píng)估多晶硅錠的晶體質(zhì)量的方法，其特征是：根據(jù)硅塊對(duì)應(yīng)的位置，建立硅錠的Q值方格圖。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～2任一項(xiàng)所述的基于光致發(fā)光評(píng)估多晶硅錠的晶體質(zhì)量的方法，其特征是：影響因子包括少子壽命、位錯(cuò)、晶界信息、雜質(zhì)含量中一項(xiàng)或多項(xiàng)的組合。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～2任一項(xiàng)所述的基于光致發(fā)光評(píng)估多晶硅錠的晶體質(zhì)量的方法，其特征是：所述的光致發(fā)光硅片檢測系統(tǒng)中，步進(jìn)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(4)上方一側(cè)設(shè)有光發(fā)射裝置(1)，另一側(cè)設(shè)有采集裝置(2)，采集裝置(2)與控制裝置(3)電連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基于光致發(fā)光評(píng)估多晶硅錠的晶體質(zhì)量的方法，其特征是：在檢測過程中，步進(jìn)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(4)旋轉(zhuǎn)至少90°。

8.根據(jù)權(quán)利要求7述的基于光致發(fā)光評(píng)估多晶硅錠的晶體質(zhì)量的方法，其特征是：光致發(fā)光硅片檢測系統(tǒng)獲取的圖像中，將影響因子以顏色標(biāo)識(shí)。

9.根據(jù)權(quán)利要求7述的基于光致發(fā)光評(píng)估多晶硅錠的晶體質(zhì)量的方法，其特征是：光致發(fā)光硅片檢測系統(tǒng)獲取的圖像中，將各個(gè)影響因子以不同的顏色分別標(biāo)識(shí)。