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[發明專利]一種坩堝電源在審

專利信息
申請號: 201710383020.5 申請日: 2017-05-26
公開(公告)號: CN108930025A 公開(公告)日: 2018-12-04
發明(設計)人: 馬少志 申請(專利權)人: 北京中科信電子裝備有限公司
主分類號: C23C14/48 分類號: C23C14/48
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 101111 北京市通*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 可控硅調功器 坩堝電源 電源供電電路 溫度控制器 溫度上限 控制器 熱電偶 自整定 半導體制造領域 采集 溫度設定信號 輸出 工作電源 器件提供 輸出控制 導通 相角 電源
【權利要求書】:

1.一種坩堝電源,主要包括:電源供電電路(1)、溫度控制器(2)、溫度上限控制器(3)、可控硅調功器(4)。所選器件均需要120V工作電源,電源供電電路(1)為所選器件提供穩定可靠的AC120V電源;擁有自整定功能的溫度控制器(2)通過遠程溫度設定信號設置輸出控制信號,控制可控硅調功器(4)導通相角;溫度控制(2)通過熱電偶采集負載溫度自整定輸出,溫度上限控制器(3)通過熱電偶采集溫度連鎖保護可控硅調功器(4)輸出。

2.如權利要求1所述的一種坩堝電源,其特征在于,溫度控制器可以通過采集溫度自整定輸出。

3.如權利要求1所述的一種坩堝電源,其特征在于,溫度上限控制器通過采集溫度值,若達到設置的上限,則關斷可控硅調功器,從而保護電源。

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