[發明專利]一種坩堝電源在審
| 申請號: | 201710383020.5 | 申請日: | 2017-05-26 |
| 公開(公告)號: | CN108930025A | 公開(公告)日: | 2018-12-04 |
| 發明(設計)人: | 馬少志 | 申請(專利權)人: | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/48 | 分類號: | C23C14/48 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 101111 北京市通*** | 國省代碼: | 北京;11 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 可控硅調功器 坩堝電源 電源供電電路 溫度控制器 溫度上限 控制器 熱電偶 自整定 半導體制造領域 采集 溫度設定信號 輸出 工作電源 器件提供 輸出控制 導通 相角 電源 | ||
1.一種坩堝電源,主要包括:電源供電電路(1)、溫度控制器(2)、溫度上限控制器(3)、可控硅調功器(4)。所選器件均需要120V工作電源,電源供電電路(1)為所選器件提供穩定可靠的AC120V電源;擁有自整定功能的溫度控制器(2)通過遠程溫度設定信號設置輸出控制信號,控制可控硅調功器(4)導通相角;溫度控制(2)通過熱電偶采集負載溫度自整定輸出,溫度上限控制器(3)通過熱電偶采集溫度連鎖保護可控硅調功器(4)輸出。
2.如權利要求1所述的一種坩堝電源,其特征在于,溫度控制器可以通過采集溫度自整定輸出。
3.如權利要求1所述的一種坩堝電源,其特征在于,溫度上限控制器通過采集溫度值,若達到設置的上限,則關斷可控硅調功器,從而保護電源。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于北京中科信電子裝備有限公司,未經北京中科信電子裝備有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201710383020.5/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:電子設備的外殼及電子設備
- 下一篇:氮化硅膜的成膜方法、成膜裝置以及存儲介質
- 同類專利
- 專利分類





