[發(fā)明專利]電容器陣列及制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710378230.5
• 申請(qǐng)日: 2017-05-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107204325B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 方向明;伍榮翔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都線易科技有限責(zé)任公司;電子科技大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L23/522
• 分類號(hào): H01L23/522;H01L21/768
• 代理公司: 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 鄧超

1.一種電容器陣列，其特征在于，所述電容器陣列包括：第一組電容器和第二組電容器，所述第一組電容器包括第一電容器和第二電容器，所述第二組電容器包括第三電容器和第四電容器，

所述第一電容器、第二電容器、第三電容器和第四電容器均為具有鏡像對(duì)稱平面極板的電容器，且包含上層極板和下層極板，

所述第一電容器和第二電容器的同層平面極板以第一對(duì)稱軸為軸成鏡像對(duì)稱分布，所述第三電容器和第四電容器的同層平面極板以第二對(duì)稱軸為軸成鏡像對(duì)稱分布，所述第一對(duì)稱軸與第二對(duì)稱軸之間具有預(yù)設(shè)角度；

其中，所述鏡像對(duì)稱是指把圖像沿著對(duì)稱軸折疊，所述對(duì)稱軸兩旁的部分能夠互相重合；所述第一對(duì)稱軸與第二對(duì)稱軸之間的預(yù)設(shè)角度的角度范圍為［80°,90°）∪（90°,100°］。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容器陣列，其特征在于：

所述第一電容器、第二電容器、第三電容器、第四電容器的極板均包括至少一個(gè)子極板。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電容器陣列，其特征在于：還包括導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，

所述第一電容器的極板和第二電容器的極板均包括多個(gè)子極板，所述第一電容器的極板的多個(gè)子極板通過(guò)所述導(dǎo)體結(jié)構(gòu)連接，所述第二電容器的極板的多個(gè)子極板通過(guò)所述導(dǎo)體結(jié)構(gòu)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容器陣列，其特征在于：還包括導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)體結(jié)構(gòu)分別設(shè)置于所述第一電容器、第二電容器、第三電容器、第四電容器極板的邊緣位置，上下層極板的導(dǎo)體結(jié)構(gòu)形狀獨(dú)立設(shè)置，并且：

設(shè)置于第一電容器的極板的邊緣位置的導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的面積小于第一電容器的極板的面積；

設(shè)置于第二電容器的極板的邊緣位置的導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的面積小于第二電容器的極板的面積；

設(shè)置于第三電容器的極板的邊緣位置的導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的面積小于第三電容器的極板的面積；

設(shè)置于第四電容器的極板的邊緣位置的導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的面積小于第四電容器的極板的面積。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電容器陣列，其特征在于：

設(shè)置于第一電容器的極板的邊緣位置的導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的面積小于或等于第一電容器的極板的面積的一半；

設(shè)置于第二電容器的極板的邊緣位置的導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的面積小于或等于第二電容器的極板的面積的一半；

設(shè)置于第三電容器的極板的邊緣位置的導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的面積小于或等于第三電容器的極板的面積的一半；

設(shè)置于第四電容器的極板的邊緣位置的導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的面積小于或等于第四電容器的極板的面積的一半。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容器陣列，其特征在于：還包括第一走線、第二走線、第三走線、第四走線、第一焊盤(pán)、第二焊盤(pán)、第三焊盤(pán)以及第四焊盤(pán)，

所述第一電容器通過(guò)第一走線與第一焊盤(pán)連接；

所述第二電容器通過(guò)第二走線與第二焊盤(pán)連接；

所述第三電容器通過(guò)第三走線與第三焊盤(pán)連接；

所述第四電容器通過(guò)第四走線與第四焊盤(pán)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電容器陣列，其特征在于：

所述第一走線與第一焊盤(pán)的面積之和小于第一電容器的極板的面積；

所述第二走線與第二焊盤(pán)的面積之和小于第二電容器的極板的面積；

所述第三走線與第三焊盤(pán)的面積之和小于第三電容器的極板的面積；

所述第四走線與第四焊盤(pán)的面積之和小于第四電容器的極板的面積。

8.一種電容器陣列的制造方法，用于制造如權(quán)利要求1所述的電容器陣列，其特征在于：

在襯底沉積第一介質(zhì)層；

使用金屬材料在所述第一介質(zhì)層形成電容器的第一極板；

在所述第一極板的表面以及第一介質(zhì)層的表面形成第二介質(zhì)層；

使用金屬材料在所述第二介質(zhì)層形成電容器的第二極板；

在所述第二極板的表面以及第二介質(zhì)層的表面形成第三介質(zhì)層。